[发明专利]一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置

权利要求书

1.一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置，包括底座(1)、载环盘(2)、悬环盘(3)、第一副架(4)与第二副架(5)，其特征在于：所述载环盘(2)固定安装于底座(1)的上表面，所述第一副架(4)固定安装于底座(1)与载环盘(2)的右侧壁，所述载环盘(2)与悬盘通过支撑杆(9)进行固定安装，所述第二副架(5)固定安装于悬环盘(3)的右侧壁，所述底座(1)的筒腔内固定安装有电磁线圈(6)，所述载环盘(2)的环孔内固定安装有平行铰链(7)，所述平行铰链(7)的悬空端固定安装有永磁体(8)，所述悬环盘(3)的环孔中部固定安装有激光测距仪(10)，所述第一副架(4)与第二副架(5)间转动安装有螺纹杆(11)，所述第一副架(4)的底腔内固定安装有第一伺服电机(14)，所述第一伺服电机(14)的输出端通过联轴器固定安装螺纹杆(11)的下端，所述第一副架(4)与第二副架(5)间固定安装有支撑滑轨(12)，所述支撑滑轨(12)位于靠近底座(1)侧，所述螺纹杆(11)螺装有第一丝母(15)，所述第一丝母(15)固定安装于调节架(13)的槽口内，所述支撑滑轨(12)设于调节架(13)的槽口内，所述调节架(13)的左端上表面开设有安装槽，且安装槽内固定安装有第二伺服电机(16)与平移滑轨(18)，所述平移滑轨(18)位于第二伺服电机(16)的左侧，所述平移滑轨(18)上表面滑动安装有滑架(17)，所述滑架(17)的夹腔内固定安装有第二丝母(19)，所述第二丝母(19)螺装第二伺服电机的输出端；

所述底座(1)的筒腔、载环板的环孔与悬环盘(3)的环孔同轴，所述螺纹杆(11)的轴线、支撑滑轨(12)的轴线与载环盘(2)的环孔的轴线位于同一平面内；

所述第一副架(4)的高度等于底座(1)与载环盘(2)的高度盒，所述第二副架(5)的高度与悬环盘(3)高度相同；

所述支撑杆(9)的长度与支撑滑轨(12)的长度相同。

2.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置，其特征在于：所述滑架(17)的左端上表面设有固定夹板(20)，所述固定夹板(20)的下表面固定安装有滑杆(21)，所述滑杆(21)贯穿滑架(17)，所述滑杆(21)的下端一体成型有限位帽，且限位帽与滑架(17)的下表面间夹装有复位弹簧(22)。

3.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜微悬臂弹性系数标定装置，其特征在于：所述平行铰链(7)数量为三个，且三个悬空端焊接于载环盘(2)的下表面，所述永磁体(8)固定安装于载环盘(2)的上表面。