[发明专利]一种金属电极的激光刻线方法及薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池，其特征在于，包括导电玻璃(102)，导电玻璃(102)上表面设有吸收层(301)，吸收层(301)的上下表面分别设有正电极层(501)和负电极层(101)；

负电极层(101)上开设有与导电玻璃(102)的玻璃层相通的第一刻线槽(201)，第一刻线槽(201)内填充有吸收层(301)，吸收层(301)上表面开设有与负电极层(101)相通的第二刻线槽(401)，第二刻线槽(401)的底部位于第一刻线槽(201)顶部的侧边，吸收层(301)上表面设有正电极层(501)，第二刻线槽(401)内填充有正电极层(501)，正电极层(501)上开设有与吸收层(301)相通的第三刻线槽(601)，第三刻线槽(601)位于第二刻线槽(401)顶部的侧边。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述第一刻线槽(201)、第二刻线槽(401)和第三刻线槽(601)的宽度均为28～32μm。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述第一刻线槽(201)、第二刻线槽(401)和第三刻线槽(601)均通过纳秒激光器进行激光刻线得到。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述负电极层(101)为导电氧化层或电子传输层；所述的正电极层(501)为导电氧化层或空穴传输层。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述吸收层(301)由铜铟镓硒、钙钛矿和碲化镉制备而成；所述导电玻璃(102)为ITO玻璃或FTO玻璃。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述吸收层(301)的厚度为500～700nm；所述正电极层(501)和负电极层(101)的厚度均为300～700nm。

7.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，所述第二刻线槽(401)底部的一端与第一刻线槽(201)顶部的一端连接；第二刻线槽(401)顶部的一端与第三刻线槽(601)底部的一端连接。

8.一种权利要求1～7任一项所述薄膜太阳能电池的激光刻线方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：在导电玻璃(102)上沉积负电极层(101)，然后对负电极层(101)进行激光P1刻线，由负电极层(101)刻至导电玻璃(102)的玻璃层，在负电极层(101)上形成若干个将负电极层(101)分割的第一刻线槽(201)；

S2：在负电极层(101)和第一刻线槽(201)上沉积吸收层(301)，然后在吸收层(301)上进行激光P2刻线，由吸收层(301)刻至负电极层(101)，在吸收层(301)上形成若干个将吸收层(301)分割的第二刻线槽(401)；

S3：在吸收层(301)和第二刻线槽(401)上沉积正电极层(501)，然后在正电极层(501)上进行激光P3刻线，由正电极层(501)刻至吸收层(301)，在正电极层(501)上形成若干个将正电极层(501)分割的第三刻线槽(601)，得到薄膜太阳能电池。

9.根据权利要求8所述的激光刻线方法，其特征在于，所述第二刻线槽(401)底部的一端与第一刻线槽(201)顶部的一端连接；第二刻线槽(401)顶部的一端与第三刻线槽(601)底部的一端连接。

10.根据权利要求8所述的激光刻线方法，其特征在于，激光刻线过程中，脉冲持续时间为0.1～100纳秒。