[发明专利]一种精密运动台特定频率扰动抑制方法

权利要求书

1.一种精密运动台特定频率扰动抑制方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：

步骤一：由轨迹生成器C_r生成精密运动台P的期望位置信号r；

步骤二：测量精密运动台P的实际位置信号y；

步骤三：将期望位置信号r与精密运动台P的实际位置信号y作差，得到位置误差信号e，位置误差信号e经过反馈控制器C得到反馈控制信号u_fb，反馈控制器C具有以下形式：

其中，s为微分算子，K_p＝m(2πf_bw)²/α，f_i＝f_bw/α²，f_d＝f_bw/α，f_lp＝αf_bw，ξ_lp∈[0.5 1]，α＞1，m为精密运动台质量，f_bw为所期望的系统闭环带宽；

步骤四：前一周期的控制信号u经过滤波器Q之后得到信号u_Q，滤波器Q由下式来确定：

Q＝[1-(1-Q₀)C_notch]Q₁；

其中，Q₀中ξ₀取0.7，w₀取想要抑制的扰动的频率范围最大值；Q₁中ξ₁取0.7，w₁取值小于伺服频率的1/2；C_notch由多个陷波器串联构成，其中n表示陷波器的个数，w_iz与w_ip取值在某个特定扰动频率两侧，且w_iz＞w_ip，ξ_iz＜ξ_ip；

步骤五：计算滤波器Q与精密运动台名义模型P₀的逆即的乘积，得到实际位置信号y经过之后得到u_PQ；

步骤六：将u_PQ与u_Q作差得到扰动信号估计值

步骤七：将反馈控制信号u_fb与扰动信号估计值作差，得到当前周期控制信号u，当前周期控制信号u与外部扰动信号d的和u_p作用于精密运动台P产生位置信号y。

2.根据权利要求1所述的精密运动台特定频率扰动抑制方法，其特征在于所述步骤五中，假设通过机理建模或者系统辨识方法得到的精密运动台名义模型的传递函数为P₀(q)，其中q为时间前移算子，对离散信号x(t)，满足qx(t)＝x(t+1)，t为离散时间，由下式获得：

其中，A(q)为P₀(q)的分母，B_s(q)为P₀(q)分子中稳定零点对应的多项式，B_u(q)为P₀(q)分子中不稳定零点对应的多项式。