[发明专利]大气压气体放电均匀化的调制方法和装置在审
| 申请号： | 202011475997.8 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112888129A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李犇;张宇;季启政 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 张振伟 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大气压 气体 放电 均匀 调制 方法 装置 | ||
1.一种大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，包括：
利用交流电源驱动气体放电，并调节所述交流电源的参数对所述气体放电进行均匀化；和/或
利用脉冲电源驱动气体放电，并调节所述脉冲电源的参数对所述气体放电进行均匀化。
2.如权利要求1所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述调节所述交流电源的参数对所述气体放电进行均匀化，包括：
调节所述交流电源的驱动频率、电压幅值和电压脉冲占空比中的至少一种，对所述气体放电进行均匀化。
3.如权利要求2所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述调节所述交流电源的参数对所述气体放电进行均匀化，包括：
将所述交流电源的驱动频率升高为≥100kHz或降低为≤1kHz，对所述气体放电进行均匀化。
4.如权利要求2所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述调节所述交流电源的参数对所述气体放电进行均匀化，包括：
将所述交流电源的电压幅值升高为≥160V或降低为≤110V，对所述气体放电进行均匀化。
5.如权利要求1所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述调节所述脉冲电源的参数对所述气体放电进行均匀化，包括：
调节所述脉冲电源的驱动频率、电压幅值和电压脉冲占空比中的至少一种，对所述气体放电进行均匀化。
6.如权利要求5所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述调节所述脉冲电源的参数对所述气体放电进行均匀化，包括：
将所述脉冲电源的驱动频率升高为≥100kHz或降低为≤1kHz，对所述气体放电进行均匀化。
7.如权利要求5所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述调节所述脉冲电源的参数对所述气体放电进行均匀化，包括：
将所述脉冲电源的电压幅值升高为≥160V或降低为≤110V，对所述气体放电进行均匀化。
8.如权利要求1所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述大气压气体放电均匀化的调制方法还包括：
施加外加磁场驱动气体放电，并调节所述外加磁场的参数对所述气体放电进行均匀化。
9.如权利要求8所述的大气压气体放电均匀化的调制方法，其特征在于，所述大气压气体放电均匀化的调制方法还包括：
调节所述交流电源的参数、调节所述脉冲电源的参数和调节所述外加磁场的参数，对所述气体放电进行均匀化。
10.一种大气压气体放电均匀化的调制装置，其特征在于，包括：
交流电源，用于驱动气体放电，并调节所述交流电源的参数对所述气体放电进行均匀化；和/或
脉冲电源，用于驱动气体放电，并调节所述脉冲电源的参数对所述气体放电进行均匀化；和/或
外加磁场产生设备，用于驱动气体放电，并调节所述外加磁场的参数对所述气体放电进行均匀化。
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