[发明专利]一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统在审
| 申请号： | 202011476537.7 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112636636A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;李春龙;宋立武;曹金龙 | 申请（专利权）人： | 南通速图科技有限公司 |
| 主分类号： | H02N15/00 | 分类号： | H02N15/00;H02K37/00;H02K1/12;H02K1/22;H02K11/30;H02K11/33;B81B5/00;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 226602 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 转角 电磁 悬浮 测控 系统 | ||
1.一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，包括定子(1)和转子(2)，其特征在于：还包括多个轴向旋转驱动电极(3)、多个径向旋转驱动电极(4)和公共电极(5)，所述公共电极(5)呈环形位于装置的外圈，所述定子(1)为圆形且位于公共电极(5)的圆心位置，多个所述轴向旋转驱动电极(3)呈环形分布于定子(1)上，多个所述轴向旋转驱动电极(3)组成的圆环内部设置有悬浮线圈(6)，所述悬浮线圈(6)呈环形结构且内部设置有稳定线圈(7)，所述定子(1)的上表面且位于悬浮线圈(6)和稳定线圈(7)之间设置有稳定线圈支撑环(8)，所述稳定线圈(7)通过稳定线圈支撑柱(9)固定在稳定线圈支撑环(8)上，所述定子(1)的上表面且位于轴向旋转驱动电极(3)和悬浮线圈(6)之间设置有悬浮线圈支撑环(10)，所述悬浮线圈(6)通过悬浮线圈支撑柱(11)固定在悬浮线圈支撑环(10)上，所述公共电极(5)的四周均匀设置有多个支撑座(12)，所述支撑座(12)的内部设置有角度线圈(13)，所述角度线圈(13)的内部设置有铁芯(14)，多个所述径向转动电极(4)均匀分布在在转子(2)的圆心四周，所述转子(2)的中心位置安装有反射镜(15)，所述悬浮线圈(6)、稳定线圈(7)和角度线圈(13)的导线两端均设置有引脚(16)。
2.根据权利要求1所述的一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，其特征在于：所述轴向旋转驱动电极(3)的数量为八个，相对的两个轴向旋转驱动电极(3)为一对，组成三对轴向旋转驱动电极对，电极夹角为25°，电极间的夹角为20°。
3.根据权利要求1所述的一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，其特征在于：所述径向旋转驱动电极(4)的数量为八个，相对的两个径向旋转驱动电极(4)为一对，组成三对径向旋转驱动电极对，电极夹角为25°，电极间夹角为20°。
4.根据权利要求1所述的一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，其特征在于：所述支撑座(12)的数量为四个，均匀分布相邻的轴向旋转驱动电极(3)之间。
5.根据权利要求1所述的一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，其特征在于：还包括信号发生器、前置放大器、锁相放大器、高压放大器、控制电压合成器、移相电路及控制器，信号发生器分别与移相电路、控制电压合成器连接和前置放大器连接，移相电路与锁相放大器连接，控制器的输出端与高压放大器连接。
6.根据权利要求5所述的一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统，其特征在于：所述控制器包括轴向旋转控制器和径向旋转控制器。
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