[发明专利]一种原位微纳米压痕/划痕测试平台

权利要求书

1.一种原位微纳米压痕/划痕测试平台，包括粗调节装置、精细调节装置和传动装置，其特征在于：所述粗调节装置包括底座（1）、角度盘（2）和工作台（3），所述角度盘（2）通过精密滑轨（4）滑动连接在底座（1）的顶部，所述工作台（3）滑动连接在角度盘（2）的顶部，所述角度盘（2）的中部固定安装有第一涡轮（5），所述角度盘（2）的一侧开设有刻度，所述第一涡轮（5）的一侧啮合连接有第一蜗杆（6），所述第一蜗杆（6）转动连接在工作台（3）的底部，所述第一蜗杆（6）的一端焊接有第一手轮（7），所述工作台（3）的一侧固定安装有样品盒（8），所述工作台（3）的一侧开设有刻度，所述底座（1）的一侧焊接有显微镜安装台（9），所述工作台（3）的顶部开设有燕尾槽；所述精细调节装置包括精密导轨（10）、滑块（11）和载物台（12），所述精密导轨（10）的底部滑动连接在工作台（3）顶部燕尾槽的内部，所述精密导轨（10）的内部开设有燕尾槽，所述滑块（11）滑动连接在精密导轨（10）燕尾槽内，所述滑块（11）的内部螺纹连接有定位螺钉（40），所述载物台（12）滑动连接在精密导轨（10）靠近滑块（11）的燕尾槽内，所述滑块（11）靠近载物台（12）的一侧转动连接有微调螺杆（13），所述微调螺杆（13）的一侧固定安装有微调旋钮（14），所述微调螺杆（13）的一端螺纹连接在载物台（12）的内部，所述载物台（12）的内部螺纹连接有微调螺钉（15），所述载物台（12）的顶部固定安装有样品固定盒（16），所述滑块（11）靠近微调旋钮（14）的一侧螺纹连接有固定螺钉（17），所述固定螺钉（17）的一端顶触在微调螺杆（13）的外表面，所述精密导轨（10）的顶部开设有刻度；所述传动装置包括立板（18）、调节板（19）、伺服电机（20）、光杠（21）和丝杠（22），所述立板（18）固定安装在底座（1）的顶部，所述丝杠（22）通过轴承转动连接在立板（18）的内部，所述调节板（19）螺纹连接在丝杠（22）的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种原位微纳米压痕/划痕测试平台，其特征在于：所述光杠（21）焊接在立板（18）的一侧，所述调节板（19）滑动连接在光杠（21）的一侧，所述丝杠（22）远离调节板（19）的一端固定安装有第二手轮（23），所述伺服电机（20）通过安装块固定安装在调节板（19）的一侧，所述伺服电机（20）的输出端固定安装有主动锥齿轮（24），所述主动锥齿轮（24）的一侧啮合连接有从动锥齿轮（25）。

3.根据权利要求2所述的一种原位微纳米压痕/划痕测试平台，其特征在于：所述从动锥齿轮（25）的一侧固定安装有第二螺杆（26），所述第二螺杆（26）的一端通过支撑柱（27）转动连接在调节板（19）的一侧，所述第二螺杆（26）的一侧啮合连接有第二涡轮（28），所述第二涡轮（28）通过支撑块（29）转动连接在调节板（19）靠近支撑柱（27）的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种原位微纳米压痕/划痕测试平台，其特征在于：所述第二涡轮（28）的一侧焊接有传动杆（30），所述传动杆（30）的一端固定连接有上斜板（31），所述上斜板（31）的一侧通过连接柱（32）固定连接有下斜板（41），所述连接柱（32）的一侧转动连接有套筒（33），所述套筒（33）的一侧通过连接板（34）转动连接有连接球（35），所述连接球（35）的一侧焊接有连杆（36）。

5.根据权利要求4所述的一种原位微纳米压痕/划痕测试平台，其特征在于：所述下斜板（41）的底部通过传动杆（30）滑动连接有升降筒（37），所述升降筒（37）的一侧转动连接在连杆（36）的一端，所述升降筒（37）的一端固定安装有金刚石压头（38），所述调节板（19）靠近升降筒（37）的一侧固定安装有支撑滑杆（39），所述升降筒（37）的一侧滑动连接在支撑滑杆（39）的一侧，所述套筒（33）为可拆卸连接结构。

6.根据权利要求1所述的一种原位微纳米压痕/划痕测试平台，其特征在于：所述精密滑轨（4）的数量为两个，对称分布在角度盘（2）的两侧，所述第一涡轮（5）为不完整涡轮，所述角度盘（2）为U形结构，且内部为中空设置，所述工作台（3）和精密导轨（10）的一侧均设置有指示箭头。