[发明专利]一种电容式压力传感器及温漂解决方法

权利要求书

1.一种电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，包括以下步骤：

将电容式压力传感器置于待测压环境中，测量电容式压力传感器无施加压力条件下的第一输出电压，由第一输出电压获得无压力条件下的温度值；

维持测压环境温度不变，施加设定的压力于电容式压力传感器，测量输出电压稳定时的输出电压值，由温度值和输出电压值获得此温度值时的压强值；

具体包括：

在不对压电陶瓷施加压力的条件下，将所述电容式压力传感器置于待测压环境中；然后待所述电容式压力传感器的输出电压稳定后将其记录为第一输出电压V₁，此时，测压环境温度与压电陶瓷的温度保持一致需要一定的时间，所以需要输出电压稳定后才记录，再由V₁通过计算得到所述压电陶瓷温度T的值；

保持测压环境温度不变，对所述压电陶瓷施加压力，待所述电容式压力传感器的输出电压U₂稳定后将其记录下来，将第一步得到的压电陶瓷温度T和所述电容式压力传感器的输出电压U₂代入相关方程，计算压电陶瓷温度T下的压强值P；

其中，所述电容式压力传感器包括电容介质、电极和衬底，所述电容介质隔断两相对设置在衬底上的电极，所述电容介质为压电陶瓷。

2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，所述的设定的压力的数值为大于零的任一自然数。

3.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，所述电极包括上电极和下电极，所述衬底包括上衬底和下衬底，所述下衬底、下电极、电容介质、上电极、上衬底依次设置。

4.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，所述衬底的制作材料为绝缘材料。

5.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，所述电极的制作材料是金属材料。

6.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，所述压电陶瓷的两表面与所述电极的两表面平行。

7.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，两所述电极的正对面积不为零。

8.根据权利要求1所述的电容式压力传感器的温漂解决方法，其特征在于，两所述电极接通检测电路，检测电路用于将电极产生的电信号放大并传输至控制端。