[发明专利]一种环保高效ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202011477287.9 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112479682A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 唐智勇 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/632 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 杨千寻;杜梅花 |
| 地址： | 412000 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环保 高效 ito 制备 方法 | ||
1.一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、用等离子弧熔融In-Sn合金，之后将处于熔融态的金属在等离子发生室内的含氧40％vol的气流中氧化，并使所获得的反应产物在气流中强烈冷却制得原料粉末，冷却速度为106K/s-108K/s；
S2、将原料粉末、离子交换水、氧化锆装入球磨罐中，球磨混合，混合时间为20-24小时，所述原料粉末平均粒径为0.03-0.25μm；
S3、加入分散剂继续混合，所述分散剂为聚羧酸系分散剂，混合时间为1-2小时；
S4、加入蜡基粘结剂继续混合；
S5、将所构成的磨浆注入到过滤式成形模内制作成形体，所述过滤式成形模的原料为从陶瓷原料磨浆将水分减压排水以获得成形体的非水溶性材料；
S6、将此成形体进行干燥脱脂；
S7、将干燥脱脂后的成形体送入烧结炉内烧结，制得靶材。
2.根据权利要求1所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：S4中混合时间为15-20小时。
3.根据权利要求1所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：S6中干燥温度为400℃-600℃。
4.根据权利要求1所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：初次烧结温度为1500℃-1700℃，烧结时间为5-10min，降温至1400℃-1600℃，并保温15-20h，之后再冷却至室温。
5.根据权利要求8所述的一种环保高效ITO靶材的制备方法，其特征在于：从最高烧结温度降至400℃的平均降温速度80-100℃/小时。
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