[发明专利]节流器、空气静压导轨及空气静压导轨控制系统

说明书

本发明提供了一种节流器，所述节流器包括呈柱状且中空设置的节流外壳、截面呈T型的节流柱塞、弹性环片，所述节流柱塞包括呈柱状的柱塞体、设置在所述柱塞体一端的底板，所述节流外壳一端自内壁向外凹陷设置以形成收容部，所述底板靠近所述节流外壳的一侧的中部朝向远离所述节流外壳的一侧凹陷，以形成气腔，所述弹性环片的外部凸伸入所述收容部，且上方与所述节流外壳抵持，所述弹性环片的内部的下方与所述底板的上端抵持。本发明的节流器，通过设置弹性环片，从而实现在轴向的自由度调节。

技术领域

本发明涉及一种节流器、空气静压导轨及空气静压导轨控制系统。

背景技术

空气静压导轨由于其摩擦因数小，工作寿命长，温度分布均匀的特性被广泛应用，对静压轴承的精度和刚度也提出了更高的要求。由于空气静压轴承的加工精度已逐渐趋近极限，而随着测量技术和控制技术的不断发展，传感器和驱动器的性能不断提高、尺寸进一步的小型化、成本不断下降，使得通过主动控制来进一步提高空气静压导轨的精度成为可能。

另外，现有节流器的成本较高，具体表现在电容距离传感器和压电陶瓷传感器的成本较高。

有鉴于此，有必要对现有的节流器及空气静压导轨予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种节流器，以解决现有现有空气静压导轨精度不高的问题，及现有节流器成本过高的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种节流器，所述节流器包括呈柱状且中空设置的节流外壳、截面呈T型的节流柱塞、弹性环片，所述节流柱塞包括呈柱状的柱塞体、设置在所述柱塞体一端的底板，所述节流外壳的一端向外凸伸有开口，所述节流外壳远离所述开口的一端自内壁向外凹陷设置以形成收容部，所述柱塞体凸伸入所述开口，所述底板与所述节流外壳远离所述开口的一端抵持，所述底板靠近所述节流外壳的一侧的中部朝向远离所述节流外壳的一侧凹陷，以形成气腔，所述节流柱塞内设有通气道，所述通气道靠近所述开口的一侧设有与所述通气道连通的进气口、靠近所述底板的一侧设有与所述通气道连接的节流口，所述弹性环片的外部凸伸入所述收容部，且上方与所述节流外壳抵持，所述弹性环片的内部的下方与所述底板的上端抵持。

作为本发明的进一步改进，所述所述节流器包括环绕设置在所述节流柱塞外部的音圈电机线圈、设置在所述节流外壳内壁设有与所述音圈电机线圈间隔设置的音圈电机磁铁。

作为本发明的进一步改进，所述底板自形成气腔的一侧向内凹陷形成压力测量孔，所述压力测量孔内设有压力传感器。

作为本发明的进一步改进，所述节流外壳上开设有出线口。

作为本发明的进一步改进，所述柱塞体远离所述底板的一侧与所述节流外壳之间设有密封圈。

本发明还提供一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括滑块、设置在所述滑块两侧的滑轨、如上述的节流器，所述滑块的上部两侧为向内倾斜设置的上斜面，所述滑块的下部两侧为向内倾斜设置的下斜面，所述滑轨与所述滑块之间的距离相等，所述节流器设置在所述滑轨内，且节流口朝向所述上斜面和所述下斜面设置，所述滑轨上开设有用以与所述进气口连通的进气道。

作为本发明的进一步改进，所述空气静压导轨还包括安装底板，所述滑轨固定在所述安装板上。

作为本发明的进一步改进，所述空气静压导轨还包括光栅尺读数头和光栅尺尺条，所述光栅尺读数头安装在滑块上、光栅尺尺条安装在安装底板上。

本发明还提供一种空气静压导轨控制系统，所述空气静压导轨控制系统包括如上述的空气静压导轨、用以向所述空气静压导轨内的节流器供气的气控箱、与所述空气静压导轨及气控箱电性连接的上位机。

本发明还提供所述节流器包括环绕设置在所述节流柱塞外部的音圈电机线圈、设置在所述节流外壳内壁设有与所述音圈电机线圈间隔设置的音圈电机磁铁，所述空气静压导轨控制系统包括与所述音圈电机线圈电性连接的电机驱动器。