[发明专利]一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具及其制作方法

说明书

本发明公开了一种薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板卡具及其制作方法，包括卡具骨架和连接在卡具骨架上的若干挡板，相邻两挡板的相对面上设置有高度相同的一套支撑台阶，所述支撑台阶用于支撑放置掩膜板，若干挡板提供的所有支撑台阶中至少包含两套高度不同的支撑台阶，本发明可以在需要蒸镀不同厚度电极时，减少蒸镀次数和蒸镀损耗，以节省时间和成本。

技术领域

本发明属于掩膜板卡具技术领域，具体涉及一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具。

背景技术

钙钛矿太阳能电池作为一种新型太阳能电池发展非常迅速，目前国内很多高校和研究所都有与之相关的研究课题。钙钛矿太阳能电池自从2009年发现以来其光电转换效率已从3.8％提升到如今的25％以上，其光电转换效率已接近或超过市面上传统晶硅、铜铟镓硒以和碲化镉电池。与传统晶硅电池相比，钙钛矿太阳能电池的优势在于工艺简单，且成本大幅降低。钙钛矿太阳能电池通常由多层不同功能的材料薄膜组成，薄膜的制备可采用旋涂、真空蒸镀、磁控溅射等工艺进行制备。但就现有技术而言，金属电极(例如作为电极的金、银、铝等)采用气相沉积法镀膜，一次蒸镀只能得到一种厚度的电极，如果需要不同厚度的电极进行对比试验，就要进行多次蒸镀，浪费时间和材料。

发明内容

为解决现有技术中存在的上述问题，本发明的目的在于提供一种薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板卡具及其制作方法，可以在需要蒸镀不同厚度电极时，减少蒸镀次数和蒸镀损耗，以节省时间和成本。

为达上述目的，本发明的具体技术方案是：一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，包括卡具骨架和连接在卡具骨架上的若干挡板，相邻两挡板的相对面上设置有高度相同的一套支撑台阶，所述支撑台阶用于支撑放置掩膜板，若干挡板提供的所有支撑台阶中至少包含两套高度不同的支撑台阶。

进一步的，所述卡具骨架与挡板之间采用活动连接，所述卡具骨架上开设有卡槽，挡板顶部与卡槽配合用于卡入卡槽内，且挡板顶部可在卡槽内滑动。

进一步的，所述卡槽的截面形状为倒梯形。

进一步的，所述卡具骨架上开设有开孔，所述开孔开设在卡槽正上方，所述挡板上开设有沉孔，所述沉孔与开孔对应，固定销穿过开孔与沉孔连接。

进一步的，所述挡板共设置有三个，且三个挡板之间间隔相同。

进一步的，所述三个挡板之间设置有两套支撑台阶，且两个支撑台阶高度不同。

本发明的另一目的是提供一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具的制作方法，包括以下步骤：

1)制作卡具骨架，卡具骨架上带有卡槽；

2)在步骤1)制作的卡具骨架上的卡槽两端顶部开孔；

3)制作挡板，所述挡板的顶部与步骤1)制作的卡槽对应，且挡板的顶部开设有沉孔，沉孔和卡槽顶部开孔对应；

4)制作与开孔与沉孔尺寸对应的固定销；

5)将卡具骨架、若干挡板和固定销组合在一起，得到薄膜太阳能电池掩膜板卡具。

进一步的，所述卡槽开设在卡具骨架的底面上。

本发明的薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，根据不同需求，卡具骨架设有若干卡槽，若干挡板将卡具骨架分隔成若干供掩膜板放置的位置，挡板与挡板之间的掩膜板放置位存在高度差，由于蒸发源与不同的掩膜板放置位之间存在距离差异，蒸镀时电极的沉积速度不同，一次蒸镀可以得到不同厚度电极的电池；当然，本发明还可以通过选用掩膜板放置位不同的挡板和调节蒸镀速度来控制蒸镀电极的厚度，达到一次蒸镀得到多种厚度电极的目的，节约实验时间和成本。