[发明专利]一种增透膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202011480036.6 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112624624B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 田守勤;张明凤;刘秋芬;周学东;赵修建 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 增透膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种增透膜的制备方法，其特征在于，包含以下步骤：
(1)在衬底上制备氧化硅薄膜；
(2)将氧化硅薄膜在含氨气的气氛下进行热处理，得到增透膜；所述含氨气的气氛为含氨气、二氧化碳和水蒸气的混合气氛；热处理时加入碳酸氢铵。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化硅薄膜为二氧化硅薄膜或者氧化硅基薄膜。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述氧化硅基薄膜为掺杂二氧化钛的二氧化硅薄膜。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，热处理的温度为200-500℃、时间为1-5h。
5.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，先制备含氧化硅的溶胶，再通过提拉法制备氧化硅薄膜。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，提拉法的相关工艺参数为：浸渍速度60-100mm/min，提拉速度80-160mm/min，浸渍时间60-120s。
7.一种权利要求1-6任一项所述的制备方法获得的增透膜。
8.根据权利要求7所述的增透膜在光伏玻璃和光学器件中的应用。
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