[发明专利]一种柔性电容式压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性电容式压力传感器，其特征在于，其包括：第一电极板、第二电极板、柔性介电层以及静电膜，所述第一电极板与所述第二电极板相对设置，且所述第一电极板与所述第二电极板的导电膜表面均附着有所述静电膜，所述柔性介电层设置于所述第一电极板与所述第二电极板之间；

其中，所述柔性介电层是通过将用改性二氧化钛与聚氨酯海绵结合所得的复合材料，所述柔性介电层的制备方法包括：

将二氧化钛与硅烷偶联剂按照质量比1～3:20混合，超声处理0.5～1.5h，得到硅烷偶联剂处理后的改性二氧化钛溶液；

将干燥后的所述聚氨酯海绵于所述改性二氧化钛溶液中浸泡2～4min后，于45～55℃下干燥9～11h。

2.根据权利要求1所述的柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述二氧化钛与所述聚氨酯海绵的质量比为1～3:3。

3.根据权利要求1所述的柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述聚氨酯海绵在浸入所述改性二氧化钛溶液之前，还包括：将切割后的聚氨酯海绵用超纯水清洗后，于45～55℃下干燥9～11h。

4.根据权利要求1所述的柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述硅烷偶联剂为3-氨基丙基三乙氧基硅烷。

5.根据权利要求1所述的柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述第一电极板和所述第二电极板均为柔性电极材料氧化铟锡/聚对苯二甲酸乙二醇酯。

6.根据权利要求1所述的柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述静电膜为PE薄膜。

7.一种根据权利要求1～6任一项所述的柔性电容式压力传感器的制备方法，其特征在于，其包括：

将所述第一电极板和所述第二电极板用超纯水清洗后干燥1～3h，再在所述第一电极板和所述第二电极板的导电膜表面贴敷所述静电膜；

将所述介电层置于所述第一电极板和所述第二电极板之间，并通过聚二甲基硅氧烷进行加压粘合后，于60～70℃下加热2～4h。

8.根据权利要求7所述的柔性电容式压力传感器的制备方法，其特征在于，在通过所述聚二甲基硅氧烷进行加压粘合的步骤中，包括：将聚二甲基硅氧烷胶涂点于所述柔性介电层的每个边角，随后将所述柔性介电层置于具备静电膜的所述第一电极板与所述第二电极板之间，进行加压粘合。