[发明专利]一种反熔丝单元可靠性测试方法

权利要求书

1.一种反熔丝单元可靠性测试方法，其特征在于，在未对反熔丝单元编程前，通过对PAD点施加电压，测量反熔丝单元输出的电流，实现反熔丝单元的可靠性测试，具体包括以下步骤：

将一组反熔丝阵列作为测试样管，分别将反熔丝阵列中的平行布线和垂直布线并联，每一个交点构成一个反熔丝单元；

分别将并联的平行布线和垂直布线引出，并连接至PAD窗口；

通过探针对PAD窗口施加电压，使电压施加在每个反熔丝单元上，读取反熔丝阵列输出电流；

若输出电流小于电流阈值，则认为该测试样管可靠，反之则该测试样管不可靠。

2.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元可靠性测试方法，其特征在于，所述平行布线为m行，所述垂直布线为n行，构成m*n个反熔丝单元并联。

3.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元可靠性测试方法，其特征在于，所述反熔丝单元由垂直布线所在的上极板和平行布线所在的下极板两个导电层以及之间的绝缘层构成，通电后电压施加在两个导电层上。

4.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元可靠性测试方法，其特征在于，所述测试样管中垂直布线和平行布线的数量与实际使用的反熔丝阵列相同。

5.根据权利要求1或2所述的一种反熔丝单元可靠性测试方法，其特征在于，若每个反熔丝单元的测试精度为A，则输出电流阈值为A*m*n。

6.根据权利要求1所述的一种反熔丝单元可靠性测试方法，其特征在于，所述该测试样管不可靠为以下情况：单组反熔丝阵列施加电压为反熔丝单元编程电压一半时，反熔丝阵列的漏电流大于电流阈值。