[发明专利]电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪

权利要求书

1.一种电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：包括冷喷头、高能电子束发射器以及电子束控制装置，所述电子束控制装置安装于高能电子束发射器出射口处用于控制电子束的发射方向，以使得电子束与冷喷头喷射方向汇聚于一点；

所述冷喷头包括顺序设置的送粉装置、静电发生装置、拉瓦尔喷管、喷嘴以及偏转线圈Ⅰ，所述静电发生装置用于使送粉装置中送出的粉末粒子带电，所述拉瓦尔喷管中通入高压气体用于使带电粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴喷出，所述偏转线圈Ⅰ设置于喷嘴出口端用于控制带电粒子束的喷射方向；

所述冷喷头还包括设置于送粉装置出口侧用于对粒子进行加热的加热装置；

所述冷喷头还包括加速装置，所述加速装置设置于拉瓦尔喷管出口侧，所述加速装置具有加速电场用于使带电粒子加速并使得加速后的粒子通过喷嘴喷出。

2.根据权利要求1所述的电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：电子束控制装置为安装于高能电子束发射器出射口处的偏转线圈Ⅱ，所述偏转线圈Ⅱ用于控制电子束以使得电子束实时与喷嘴喷出的带电粒子束汇聚于一点。

3.根据权利要求1所述的电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：所述拉瓦尔喷管出口端设置有用于使带电粒子束聚焦的一级磁透镜，所述加速装置设置于一级磁透镜出口端侧。

4.根据权利要求1所述的电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：所述喷嘴外接有使粒子束聚焦的二级磁透镜，所述偏转线圈Ⅰ安装于二级磁透镜出口端。

5.根据权利要求3所述的电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：所述冷喷头还包括壳体，所述送粉装置连接于壳体顶部用于将粉末送至壳体内部，所述喷嘴设置于壳体底部并竖向正对送粉装置出口端，所述壳体上设置有用于为拉瓦尔喷管通入高压气体的进气口。

6.根据权利要求5所述的电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：

所述壳体上还开设有用于抽出气体以使壳体内形成近真空环境的抽气口。

7.根据权利要求5所述的电子束辅助真空电扫超音速沉积喷枪，其特征在于：所述壳体内腔通过绝缘板分隔为上腔室、中部腔室和下腔室，所述拉瓦尔喷管设置于中部腔室内并使得上腔室和下腔室连通，所述送粉装置底部具有用于引导粒子流动的送粉管，所述送粉管经上腔室向下延伸至拉瓦尔喷管进口端，所述加热装置设置于上腔室内，所述加速装置设置于下腔室内用于使得拉瓦尔喷管喷出的粒子束加速，所述喷嘴设置于下腔室底部使得加速后的粒子束经过喷嘴喷出，所述进气口连通于中部腔室或下部腔室。