[发明专利]一种双工器在审
| 申请号： | 202011485700.6 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112532206A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;曲远航;罗天成;谷曦宇;高超;王雅馨;王瑶;温志伟 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/70 | 分类号： | H03H9/70;H03H9/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双工器 | ||
【权利要求书】：
1.一种双工器，其特征是，包括衬底基板以及位于衬底基板上的不同频带的接收端滤波器和发射端滤波器；接收端滤波器和发射端滤波器均包括多个堆叠式体声波谐振器。
2.如权利要求1所述双工器，其特征是，堆叠式体声波谐振器包括衬底、声反射层、底电极、多层压电材料层、多层中间电极层和顶电极。
3.如权利要求2所述双工器，其特征是，衬底为硅衬底、碳化硅衬底、蓝宝石衬底或SOI衬底中任一种。
4.如权利要求2所述双工器，其特征是，底电极、顶电极和中间电极层为金属电极，选用金属钼、铂、金、银、铝、钨、钛、铜、钌和铬中的一种或多种组合；压电材料层选择氮化铝、氧化锌、铌酸锂、PZT、铌酸钡钠中的一种或多种组合。
5.如权利要求2所述双工器，其特征是，声反射层为空气、高声学阻抗材料与低声学阻抗材料交替构成的布拉格反射层或声子晶体结构。
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