[发明专利]新型化合物、聚合物及其制备方法、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件在审
| 申请号： | 202011486319.1 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN113527101A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 德米特里·祖巴列夫;浦野宏之;竹村胜也;饭尾匡史;本田和也;河合义夫 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C07C69/76 | 分类号： | C07C69/76;C07C69/78;C07C219/34;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/038;G03F7/039;G03G7/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 化合物 聚合物 及其 制备 方法 光敏 树脂 组合 图案 形成 固化 电子 部件 | ||
1.一种化合物，其特征在于，其由下述通式(1)表示，
式中，Z表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的直链状、支链状或环状的2价烃基；X1～X3表示-CO2-、-CONRX1-、-O-、-NRX1-、-S-、-SO2-、-SO3-、-SO2NRX1-中的任意一种，其任选彼此相同或不同；其中，RX1为氢原子、或者任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的1价烃基；Ar表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的2价芳香族基团；L1～L2独立地表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的2价烃基；x、y各自独立地为0或1。
2.根据权利要求1所述的化合物，其特征在于，所述通式(1)中的X3为-CO2-、-NRX1-、-O-中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的化合物，其特征在于，所述通式(1)中的x及y为0。
4.一种树脂，其特征在于，其含有下述通式(2)及(3)表示的结构单元，
式中，Z表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的直链状、支链状或环状的2价烃基；X1～X3表示-CO2-、-CONRX1-、-O-、-NRX1-、-S-、-SO2-、-SO3-、-SO2NRX1-中的任意一种，其任选彼此相同或不同；其中，RX1为氢原子、或者任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的1价烃基；Ar表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为2～30的2价芳香族基团；L1～L2独立地表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～30的2价烃基；x、y各自独立地为0或1；Y1表示任选被杂原子取代或任选插入有杂原子的碳原子数为1～100的4价烃基。
5.根据权利要求4所述的树脂，其特征在于，除了含有所述结构单元(2)及(3)以外，进一步含有下述通式(4)表示的结构单元，
式中，L3为单键或2价连接基团，R1～R2各自独立地表示任意的1价取代基；w、z为0～3，当w、z为2以上时，多个R1及R2所示的取代基任选相同或不同。
6.根据权利要求5所述的树脂，其特征在于，所述通式(4)中的L3为-CRf1Rf2-或-SO2-，其中，Rf1～Rf2各自独立地为氟原子或碳原子数为1～10的氟烷基。
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