[发明专利]一种SF6漏率标定无级调节装置及方法

权利要求书

1.一种SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，包括：微调阀(2)、配气室(8)、固定导流小孔(5)、限流小孔(12)、预抽阀(10)、主抽阀(11)、抽空泵(13)、配气室压力采集器(15)和截止阀；

其中，SF6气源一方面经第一截止阀(1)、微调阀(2)接配气室(8)，另一方面经第一截止阀(1)、第三截止阀(7)接配气室(8)；抽空泵(13)一方面经预抽阀(10)接配气室(8)，另一方面经限流小孔(12)、主抽阀(11)接配气室(8)；SF6漏率测试装置一方面经第二截止阀(6)、固定导流小孔(5)接配气室(8)，另一方面经第二截止阀(6)、第四截止阀(9)接配气室(8)；配气室(8)上还接有监测规(3)和测量规(4)，用于测量配气室(8)内的压力；

其中，SF6气体以分子流状态通过固定流导小孔(5)；通过调节微调阀(2)的开启度实现配气室(8)压力调节，进而实现SF6标准漏率调节；配气室压力采集器(15)根据配气室(8)的压力值以及固定流导小孔(5)值，实时、自动计算出标准漏率值。

2.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，还包括标准漏率显示器(14)，以曲线和数据的方式实时显示标准漏率值。

3.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，所述第一截止阀(1)、第二截止阀(6)采用波纹管截止阀。

4.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，监测规(3)选用测量范围在0.1Pa～1×10⁵Pa的低真空规。

5.如权利要求4所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，监测规(3)选用电阻规或热偶规。

6.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，测量规(4)选用电容薄膜规，测量范围根据SF6漏率调节范围选定；若测量范围大于3个数量级，则选择多只电容薄膜规组合使用，以确保配气室(8)压力测量的线性。

7.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，抽空泵(13)选用低真空泵，极限压力不大于0.1Pa，抽速不小于2L/s；预抽阀(10)和主抽阀(11)选用通径大于16mm的真空阀；限流小孔(12)的直径小于1mm。

8.如权利要求1所述的SF6漏率标定无级调节装置，其特征在于，固定流导小孔(5)的直径在10μm量级，分子流状态下流导在10^-8m³/s量级。