[发明专利]差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质

权利要求书

1.一种差分式电涡流微位移传感器标定装置，其特征在于，所述装置包括浮空平台(12)，以及设置于该平台上的被测物(2)、一维精密调整台(3)、左探头(4)、左探头固定架(5)、右探头(6)、右探头固定架(7)、处理电路(8)、测量仪器(9)、距离测量单元以及计算机(11)；所述左探头(4)、右探头(6)分别安装在固定于浮空平台(12)上的左探头固定架(5)和右探头固定架(7)上；所述一维精密调整台(3)位于左探头固定架(5)和右探头固定架(7)之间且三者位于同一直线上，所述被测物(2)放置在一维精密调整台(3)上，且两者相对位置恒定，调节一维精密调整台(3)可带动被测物(2)在浮空平台(12)表面沿两探头固定架连线的轴向方向水平移动，以改变被测物(2)与左探头(4)、右探头(6)之间的距离；所述距离测量单元用于测量左探头(4)或右探头(6)与被测物(2)之间的距离，并将该距离信息传输至计算机(11)；所述处理电路(8)用于将左探头(4)、右探头(6)探测的信息转换为电压信号，并传输至测量仪器(9)进行数据采集，还用于调节系统增益；

基于所述装置的差分式电涡流微位移传感器标定方法，所述方法包括：

步骤1，搭建所述高精度差分式电涡流微位移传感器标定装置；

步骤2，调节一维精密调整台(3)将被测物(2)置于其行程中间位置，然后将左探头(4)与被测物(2)接触，并固定左探头(4)；同时，将计算机(11)记录的双频激光干涉仪(1)测量的位置信息清零，以此作为调节基准位置；

步骤3，调节一维精密调整台(3)，带动被测物(2)远离左探头(4)，实时观测计算机(11)显示的双频激光干涉仪(1)测量的距离信息，直至被测物(2)与左探头(4)之间的距离为零位距离；

步骤4，调整右探头(6)的水平位置，实时观测处理电路(8)的输出结果，直至处理电路(8)输出结果为0时，固定右探头(6)；同时，将计算机(11)记录的双频激光干涉仪(1)测量的位置信息清零，以此作为测量基准位置；

步骤5，调节一维精密调整台(3)，带动被测物(2)运动至距离左探头(4)最远或最近的位置，然后调节处理电路(8)中的增益调节电位计，使得处理电路(8)输出值最大，由此确定了在指定零位距离及量程情况下处理电路的增益；

步骤6，从当前位置以指定步长调节一维精密调整台(3)，同步记录双频激光干涉仪(1)的位置输出及测量仪器(9)的采集结果，直至被测物(2)与左探头(4)的距离达到最近或最远；

步骤7，对采集得到的双频激光干涉仪(1)位置输出及测量仪器(9)的采集结果进行数据拟合，得到差分式电涡流微位移传感器的标定结果。

2.根据权利要求1所述的差分式电涡流微位移传感器标定装置，其特征在于，所述距离测量单元包括双频激光干涉仪(1)、角反射器(10)，其中双频激光干涉仪(1)固定设置在浮空平台(10)上，且位于左探头固定架(5)和右探头固定架(7)的连线上；所述角反射器(10)设置在一维精密调整台(3)上，且位于被测物(2)靠近双频激光干涉仪(1)的一侧，双频激光干涉仪(1)发出一束激光照射到角反射器(10)上，角反射器(10)将激光原路返回。

3.根据权利要求1或2所述的差分式电涡流微位移传感器标定装置，其特征在于，所述处理电路(8)包括用于调节系统增益的增益调节电位计。

4.根据权利要求3所述的差分式电涡流微位移传感器标定装置，其特征在于，所述被测物(2)采用铝合金或钛合金。

5.根据权利要求4所述的差分式电涡流微位移传感器标定装置，其特征在于，所述测量仪器(9)采用示波器，或万用表，或数字电压表，或数据采集卡配给计算机实现。

6.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1中所述方法的步骤。

7.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1中所述方法的步骤。