[发明专利]一种氮化镓晶圆的腐蚀装置

权利要求书

1.一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于，包括机架和设置在机架上的电气控制组件、腐蚀槽以及第一机械臂，所述第一机械臂与电气控制组件电性连接，所述腐蚀槽中盛放有强碱，氮化镓晶圆放置在卡模上，所述卡模挂在第一机械臂上，通过电气控制组件控制第一机械臂将氮化镓晶圆浸入强碱、从强碱中取出以及控制氮化镓晶圆在强碱中的浸泡时长。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述腐蚀槽的底部设置有镍基合金加热块，所述强碱为KOH或KOH和NaOH混合物，所述镍基合金加热块将KOH或KOH和NaOH混合物加热到400-450度，形成液态。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述腐蚀装置还包括第一清洗槽，所述电气控制组件控制第一机械臂将氮化镓晶圆从强碱中取出，并放入到盛放有去离子水的第一清洗槽中进行清洗。

4.根据权利要求3所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述第一清洗槽连通有第一进水管、第一喷淋管和第一鼓泡管路，所述第一进水管连通在第一清洗槽的侧壁，用于进水，所述第一喷淋管端口设置在第一清洗槽的上方，用于对第一机械臂和氮化镓晶圆进行喷淋，所述第一鼓泡管路连通在第一清洗槽的底部，用于向第一清洗槽吹入气体。

5.根据权利要求3所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述机架上设置有中和槽以及第二机械臂，所述中和槽中盛放有酸性溶液，所述第二机械臂与电气控制组件电性连接，将从第一清洗槽中取出的氮化镓晶圆从第一机械臂上取下，氮化镓晶圆放置在另一卡模上，所述卡模挂在第二机械臂上，通过电气控制组件控制第二机械臂将氮化镓晶圆浸入酸性溶液、从酸性溶液中取出以及控制氮化镓晶圆在酸性溶液中的浸泡时长。

6.根据权利要求5所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述机架在中和槽的一侧设置有第二清洗槽，所述电气控制组件控制第二机械臂将氮化镓晶圆从盐酸溶液中取出，并放入到盛放有去离子水的第二清洗槽中进行清洗。

7.根据权利要求6所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述第二清洗槽连通有第二进水管、第二喷淋管和第二鼓泡管路，所述第二进水管连通在第二清洗槽的侧壁，用于进水，所述第二喷淋管端口设置在第二清洗槽的上方，用于对第二机械臂和氮化镓晶圆进行喷淋，所述第二鼓泡管路连通在第二清洗槽的底部，用于向第二清洗槽吹入气体。

8.根据权利要求5所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述第一机械臂由高纯度金属镍材料制成。

9.根据权利要求5所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,第二机械臂由PTFE材料制成。

10.根据权利要求6-9任一项所述的一种氮化镓晶圆的腐蚀装置，其特征在于,所述腐蚀槽和中和槽的底部均通过管路连通有回收桶，用于在氮化镓晶圆腐蚀完成后回收强碱和酸性溶液。