[发明专利]柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备在审
| 申请号： | 202011489439.7 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112695277A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 朱路路;任宇航;罗明新;徐彩军 | 申请（专利权）人： | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人： | 黄娟 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 铜铟镓硒 薄膜 太阳能电池 沉积 热处理 设备 | ||
1.一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：包括工艺腔，在工艺腔的两侧分别设有收卷腔和放卷腔，工艺腔、收卷腔和放卷腔上均连接有真空泵，待沉积热处理的薄膜依次经过放卷腔、工艺腔和收卷腔，在工艺腔和收卷腔之间设有升降门，在工艺腔和放卷腔之间也设有升降门，在工艺腔内设有碱金属加热沉积区域。
2.根据权利要求1所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的碱金属加热沉积区域包括位于薄膜上方加热灯管，在薄膜下方设有金属蒸发源和硒源，金属蒸发源对应有金属源加热电极，硒源对应有硒源加热电极。
3.根据权利要求2所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的金属蒸发源包括平行排列在NaF、KF和RbF的金属蒸发源，每个金属蒸发源均对应有各自的金属源加热电极。
4.根据权利要求1或2或3所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的工艺腔内设有膜厚仪探头，膜厚仪探头位于碱金属加热沉积区域的后侧，靠近收卷腔一侧；在碱金属加热沉积区域内还设有晶振片，晶振片位于薄膜下方。
5.根据权利要求1或2或3所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的工艺腔在靠近放卷腔一侧设有加热电极，工艺腔在靠近收卷腔一侧设有水冷件对蒸镀后的薄膜卷降温。
6.根据权利要求1或2或3所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的升降门上设有密封条。
7.根据权利要求1或2或3所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的收卷腔内设有PL监测仪。
8.根据权利要求1或2或3所述的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，其特征在于：所述的工艺腔、收卷腔和放卷腔的上方分别设有抽真空管道，抽真空管道通过阀门与真空泵连接。
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