[发明专利]一种六氯乙硅烷提纯装置及方法有效
| 申请号： | 202011490070.1 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112479212B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 张宝顺;宗冰;陈海宝;刘建华;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 杜朗宇 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 六氯乙 硅烷 提纯 装置 方法 | ||
1.一种六氯乙硅烷提纯装置，其特征在于：所述装置包括依次连通的原料罐（1）、反应器（2）和冷却器（3）；所述原料罐（1）上设有原料进口（11），且原料罐（1）内部设有加热器；反应器（2）内设有电极，且反应器（2）具有与氯气通入管路适配的气体接口；冷却器（3）上设有采集口（31）；
所述反应器（2）包括外筒体（21）、具有贯穿孔的内筒体（23）和设于内筒体（23）内部的电极，外筒体（21）与内筒体（23）之间为填料区（22），原料罐（1）、冷却器（3）均连通至填料区（22）；
所述电极包括外电极（24）和内电极（25），所述外电极（24）靠近内筒体内壁设置，所述内电极（25）设于内筒体中央；所述外电极（24）为网状结构。
2.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷提纯装置，其特征在于：所述贯穿孔的直径为10μm-10mm。
3.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷提纯装置，其特征在于：所述内筒体（23）与填料区（22）之间的压差为1-30kPa。
4.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷提纯装置，其特征在于：所述外电极（24）的材质为Fe、Cr、Ni、Au、Ag、Cu中的一种，内电极（25）的材质为Fe、Cr、Ni、Au、Ag、Cu中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种六氯乙硅烷提纯装置，其特征在于：所述内筒体（23）的材质为高透光材料。
6.根据权利要求5所述的一种六氯乙硅烷提纯装置，其特征在于：所述高透光材料为立方氧化铝晶体或立方氧化锆晶体或立方氧化镁晶体或多晶金刚石或单晶金刚石或二氧化硅。
7.一种六氯乙硅烷提纯方法，其特征在于：所述方法基于权利要求1-6任一项所述的一种六氯乙硅烷提纯装置进行实施，包括：
将含有五氯乙硅烷的六氯乙硅烷液体输送至原料罐（1）并加热，含有五氯乙硅烷的六氯乙硅烷液体开始气化并进入反应器（2）内；
在反应器（2）内通入氯气，并接通反应器（2）内的电极的电源；
将低沸点氯化氢和氯气以气相形式采出，待反应完全原料罐（1）内存储高纯度六氯乙硅烷液体。
8.根据权利要求7所述的一种六氯乙硅烷提纯方法，其特征在于：所述氯气与五氯乙硅烷的摩尔比为1:1-30:1。
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