[发明专利]一种超纯水的处理工艺及系统

权利要求书

1.一种超纯水的处理工艺，其对进水进行预处理及净化处理，其特征在于，还包括以下步骤：将经过净化处理的初级非离子水流通过强阴离子树脂塔得到次级非离子水，将所述次级非离子水流通过分离床单元，所述分离床单元包括：离子交换柱，该离子交换柱具有：单独的强阳离子交换室，以及单独的强阴离子交换室；所述分离床还包括在强阳离子交换室中的强阳离子交换床，具有液体可穿透的顶部基部，以及在强阴离子交换室中的强阴离子交换床，具有液体可穿透的顶部基部，所述强阴离子交换床布置在所述强阳离子交换床的下游，使得所述次级非离子水流通过所述强阳离子交换床、且然后通过所述强阴离子交换床，最终流入用水点。

2.根据权利要求1所述的超纯水的处理工艺，其特征在于，所述预处理为将自来水通过换热器，依次通过过滤单元使其达到净化处理级别。

3.根据权利要求1所述的超纯水的处理工艺，其特征在于，所述净化处理为从预处理后的水中除去离子和非离子物质得到初级非离子水，可以采用离子交换器、电再生离子交换器、反渗透膜等。

4.根据权利要求3所述的超纯水的处理工艺，其特征在于，所述净化处理选择二级RO反渗透，所述预处理水通过二级RO反渗透后得到初级非离子水，电导率降低至10us/cm以下。

5.一种超纯水处理系统，包括一个预处理单元，一个净化处理单元，其特征在于，还包括一个强阴离子树脂塔及一个分离床单元，经过强阴离子树脂塔的水流通过分离床单元，该分离床单元包括离子交换柱，该离子交换柱具有：单独的强阳离子交换室，以及单独的强阴离子交换室；所述分离床单元还包括强阳离子交换室的强阳离子交换床，具有液体可穿透的顶部基部，以及在强阴离子交换室中的强阴离子交换床，具有液体可穿透的顶部基部，所述强阴离子交换床布置在所述强阳离子交换床的下游。

6.根据权利要求5所述的超纯水处理系统，其特征在于，所述预处理单元是为保证净化处理单元正常运行而采取的下列设施的一种或几种：超滤、多介质过滤器、活性炭过滤器、保安过滤器，以及絮凝加药系统和阻垢加药系统等。

7.根据权利要求5所述的超纯水处理系统，其特征在于，所述离子交换柱是一种再生型的交换柱，所述离子交换柱带有酸溶液和碱溶液作为再生剂流过交换柱的再生部件。

8.根据权利要求7所述的超纯水处理系统，其特征在于，所述酸溶液是预订浓度的盐酸或硫酸水溶液，所述碱溶液是预定浓度的氢氧化钠溶液或氢氧化钾溶液。

9.根据权利要求5所述的超纯水处理系统，其特征在于，所述分离床单元的下游设置抛光区单元，所述抛光区单元有一个或多个紫外线氧化器和抛光混床装置中的任一种或两者组合循环重复使用。

10.根据权利要求5所述的超纯水处理系统，其特征在于，所述分离床单元的下游还设有除硼树脂塔。