[发明专利]一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法

权利要求书

1.一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

(1)镀膜前处理：对烧结NdFeB磁材依次进行除锈、抛光以及超声清洗，随后干燥处理；

(2)辉光等离子体清洗：将NdFeB磁材固定于真空室工件架上并对腔体进行抽真空至8×10^-3Pa；向真空腔体通入Ar并调节流量，控制真空室气压为1～3Pa；给工件架加载负偏压，并设定预定的电压值、频率及占空比，清洗5-10min；

(3)晶界扩散层—重稀土涂层沉积：辉光等离子体清洗结束后，调整Ar流量，控制真空室气压为0.3Pa～1.5Pa，将工件架转动至磁材面对重稀土靶材，开启磁控溅射电源，溅射重稀土靶材，于此同时开启高温加热装置，给工件架加载负偏压，沉积时间30-90min；

(4)阻隔层—高熵合金氮化物涂层沉积：关闭溅射重稀土靶的磁控溅射电源，保持真空腔体气氛不变，并缓慢通入N₂，流量值为2sccm-20sccm，将工件转动至磁材面对AlCrTiVZr高熵合金靶材，开启磁控溅射电源，溅射高熵合金靶材，于此同时开启高温加热装置，给工件架加载负偏压，沉积时间10-60min；

(5)耐蚀层—高熵合金涂层沉积：在步骤(4)的基础上保持溅射条件不变，同步开启高温加热装置，并逐渐停止N₂通入，给工件架加载负偏压，沉积时间60-120min；

(6)真空热处理：完成NdFeB磁材表面涂层沉积后，将磁材放入真空热处理炉进行热处理；

(7)待样品冷却至室温，取出样品，完成对烧结NdFeB磁材的处理。

2.根据权利要求1所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，所述步骤(2)中的具体参数范围：电压值-500～-800V，频率40Khz，占空比20％～90％。

3.根据权利要求1所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，所述步骤(3)中重稀土靶材设置为Dy或Tb或其合金，磁控溅射电源设定参数范围：溅射电流1-10A，频率为40Khz，占空比50％-90％；其负偏压具体参数范围为：电压值0V～-1000V，频率40Khz，占空比20％～90％；所述高温加热装置温度参数范围为：100℃-650℃。

4.根据权利要求1所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，所述步骤(4)中其中磁控溅射电源设定参数范围：溅射电流1-10A，频率为40Khz，占空比50％-90％；其负偏压具体参数范围为：电压值0V～-200V，频率40Khz，占空比20％～90％；所述高温加热装置温度参数范围为：50℃-300℃。

5.根据权利要求1所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，所述步骤(5)中磁控溅射电源设定参数范围：溅射电流1-10A，频率为40Khz，占空比50％-90％；其负偏压具体参数范围为：电压值-50V～-200V，频率40Khz，占空比20％～90％；所述高温加热装置温度参数范围为：50℃-300℃。

6.根据权利要求1所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，所述步骤(6)中热处理参数范围为：扩散温度800℃-900℃，时间为5-10h；退火温度为450℃-490℃，时间为4-6小时；真空度小于10^-2Pa。

7.根据权利要求1-6任意一项所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，还设置有磁控溅射装置，磁控溅射装置的上下两端分别设置气管、真空泵组，通过真空泵组控制磁控溅射装置的内腔为真空腔体；磁控溅射装置的两侧对称设置磁控靶座，磁控靶座内壁设置有重稀土Dy靶材及AlCrTiVZr靶材，磁控靶座和磁控溅射电源连接，通过开启磁控溅射电源，溅射靶材；工件架通过电路和偏压电源连接，通过偏压电源给工件架加载负偏压；磁控溅射装置的内部设置工件架，工件架上放置烧结NdFeB磁材，工件架的上方设置高温加热装置，通过高温加热装置对工件架上的烧结NdFeB磁材加热。

8.根据权利要求1-6任意一项所述一种同时提高烧结钕铁硼矫顽力和耐蚀性的方法，其特征在于，所述高温加热装置包括无氧铜基板，无氧铜基板上等间距排布设置有钽加热丝，钽加热丝与真空室外部的直流电源连接，无氧铜基板的侧壁设置有热电偶，热电偶和真空室外部的温度显示器相连。