[发明专利]一种薄膜发电机及其制作方法

权利要求书

1.一种薄膜发电机制作方法，其特征在于，包括：

在基底的第一表面形成预处理压电层；

在所述预处理压电层与所述基底相背的表面形成第一电极层，并在摩擦层的第一表面形成第二电极层；

将带有所述预处理压电层和所述第一电极层的所述基底置于高压电场环境中进行极化，以使所述预处理压电层形成压电层；

利用粘合剂将所述摩擦层的第二表面的边缘区域与所述基底的第二表面的边缘区域进行粘接，以在所述摩擦层和所述基底除去边缘区域的区域间形成空腔，得到薄膜发电机；

其中，所述基底的所述第一表面与所述基底的所述第二表面相背，所述摩擦层的所述第一表面与所述摩擦层所述第二表面相背。

2.如权利要求1所述的薄膜发电机制作方法，其特征在于，所述在基底的第一表面形成预处理压电层包括：

制备溶解有压电材料粉体的溶液；

将所述溶液滴在所述基底的所述第一表面，直至所述溶液在所述基底的所述第一表面不再扩散；

对位于所述基底的所述第一表面的溶液进行匀胶处理，并干燥所述溶液以在所述基底的所述第一表面形成所述预处理压电层。

3.如权利要求2所述的薄膜发电机制作方法，其特征在于，在所述将所述溶液滴在所述基底的所述第一表面之前，还包括：

利用等离子体吹扫所述基底的所述第一表面。

4.如权利要求2所述的薄膜发电机制作方法，其特征在于，所述制备溶解有压电材料粉体的溶液包括：

将所述压电材料粉体溶解于有机溶剂中，得到预处理溶液；

去除所述预处理溶液中的气泡，得到所述溶液。

5.如权利要求1所述的薄膜发电机制作方法，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极层的制作方式为下述任一种：

磁控溅射法、高温蒸发法、常温刮图法、丝网印刷法。

6.如权利要求1至5任一项所述的薄膜发电机制作方法，其特征在于，所述将带有所述预处理压电层和所述第一电极层的所述基底置于高压电场环境中进行极化包括：

使用单一电性的带电粒子轰击所述基底的所述第二表面。

7.如权利要求1至5任一项所述的薄膜发电机制作方法，其特征在于，所述将带有所述预处理压电层和所述第一电极层的所述基底置于高压电场环境中进行极化包括：

将第一电极连接第一电极层，并将第二电极连接所述基底的所述第二表面；

在所述第一电极和所述第二电极之间施加高压进行极化。

8.一种薄膜发电机，其特征在于，包括：

基底；

位于所述基底的第一表面的压电层；

位于所述压电层与所述基底相背的表面的第一电极层；

位于所述基底的第二表面的边缘区域的粘结层；

位于所述粘接层与所述基底相背的表面的摩擦层；所述摩擦层与所述基底的间具有空腔；

位于所述摩擦层与所述粘接层相背的表面的第二电极层；

其中，所述基底的第一表面与所述基底的所述第二表面相背。

9.如权利要求8所述的薄膜发电机，其特征在于，所述基底的材料为下述任一种：

聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚酰亚胺、聚乙烯、聚丙烯、聚二甲基硅氧烷。

10.如权利要求8所述的薄膜发电机，其特征在于，所述压电层的材料为聚偏氟乙烯和三氟乙烯。