[发明专利]一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统

权利要求书

1.一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，包括腔体，在腔体内设有油温鼓，在油温鼓下方设有若干个铜罩，在铜罩与油温鼓之间为卷材通道，其特征在于：所述的铜罩朝向卷材一侧开口，在铜罩内设有靶材和导气管，所述的导气管上连接有气体流量计，所述的导气管上设有气孔。

2.根据权利要求1所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的靶材沿着卷材的宽度方向布置，导气管位于靶材的下方。

3.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的靶材为圆柱状，靶材的长度与卷材的宽度相同。

4.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的油温鼓的底板上设有固定条，固定条上开设有卡槽，铜罩上设有与卡槽配合的卡沿。

5.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的靶材和导气管的一端固定在腔体的前壁上，铜罩与腔体前壁相接一端通过密封圈密封。

6.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的铜罩内设有压力计。

7.根据权利要求1或2所述的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，其特征在于：所述的腔体内形成一个真空系统，所述的真空系统包括粗抽泵组、分子泵、冷阱、前级泵、冷泵和复合真空计。