[发明专利]质量流量控制器检测系统

权利要求书

1.一种质量流量控制器检测系统，其特征在于，包括：安装板、传输组件、安装组件及检漏组件；

所述传输组件设置在所述安装板上，用于承载多个所述质量流量控制器，并带动多个所述质量流量控制器沿第一方向移动，使多个所述质量流量控制器依次停留在预设位置；

所述安装组件设置在所述安装板上，且位于所述预设位置两侧，所述检漏组件包括有输出端及输入端，所述输出端及所述输入端分别设置于所述预设位置两侧的所述安装组件上；所述安装组件用于在所述质量流量控制器停留在所述预设位置时，将所述输出端及所述输入端分别连接至所述质量流量控制器的两端，以及从所述质量流量控制器的两端拆卸所述输出端及所述输入端，所述检漏组件用于在所述输出端及所述输入端连接至所述质量流量控制器的两端后，对所述质量流量控制器进行检漏；

多个所述质量流量控制器用于在完成检漏后，分别输出流量的电压值，所述电压值用于分别对相应的所述质量流量控制器进行标定。

2.如权利要求1所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述安装组件用于沿第二方向带动所述输出端及所述输入端靠近或远离所述预设位置，所述第一方向与第二方向相交。

3.如权利要求2所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述第一方向与第二方向互相垂直。

4.如权利要求2所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述安装组件包括移动机构、驱动部及连接块，所述移动机构设置于所述安装板上，沿所述第二方向延伸设置于所述预设位置的一侧，所述驱动部通过所述连接块设置于所述移动机构上，所述移动机构用于通过所述连接块带动所述驱动部在第二方向上移动；所述输出端及所述输入端设置于所述驱动部上，所述驱动部用于根据一预设扭矩将所述输出端及所述输入端连接至所述质量流量控制器的两端，以及从所述质量流量控制器的两端拆卸所述输出端及所述输入端。

5.如权利要求1所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述传输组件包括传输机构、夹持机构及固定块，所述传输机构设置于所述安装板上，沿所述第一方向延伸设置于所述预设位置的一侧，所述夹持机构通过所述固定块设置于所述传输机构上，用于承载多个所述质量流量控制器，所述传输机构用于通过所述固定块带动所述夹持机构在所述第一方向上移动。

6.如权利要求5所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述夹持机构包括有承载板、夹持块及伸缩缸，所述承载板底面与所述固定块的顶面连接，多个所述夹持块滑动设置于所述承载板的顶面，并且任意两相邻的所述夹持块可夹持一所述质量流量控制器；所述伸缩缸设置于所述承载板的顶面，用于带动多个所述夹持块同时运动以夹紧多个所述质量流量控制器。

7.如权利要求1所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述检漏组件还包括流量控制单元、流量显示器、第一阀门及第二阀门，所述流量控制单元的一端通过所述第一阀门与一流体供应装置连接，另一端与所述输出端连接，所述输入端与所述第二阀门连接，所述流量显示器与所述流量控制单元电连接。

8.如权利要求1至7的任一所述的质量流量控制器检测系统，其特征在于，所述质量流量控制器检测系统还包括：控制装置、多路切换装置及数据采集装置，其中，

所述控制装置与所述传输组件、所述安装组件、所述检漏组件、多路切换装置及数据采集装置电连接；

所述数据采集装置用于当所述质量流量控制器完成检漏后，采集所述质量流量控制器输出流量的电压值，所述控制装置用于根据所述电压值对所述质量流量控制器进行标定；

所述多路切换装置用于与多个所述质量流量控制器连接，当所述质量流量控制器完成标定后向所述控制装置反馈一标定完成信号，所述控制装置用于根据所述标定完成信号通过所述多路切换装置切换多个所述质量流量控制器的连接状态。