[发明专利]倒装芯片再分配层中的黄铜涂覆的金属在审

专利信息
申请号: 202011494924.3 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN113013122A 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: V·S·斯里德哈兰;C·D·曼纳克;N·达沃德;S·F·帕沃内;P·F·汤普森 申请(专利权)人: 德克萨斯仪器股份有限公司
主分类号: H01L23/485 分类号: H01L23/485;H01L21/60
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 徐东升
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 倒装 芯片 再分 中的 黄铜 金属
【权利要求书】:

1.一种封装件,包括:

管芯;以及

再分配层,所述再分配层耦接至所述管芯,所述再分配层包括:

金属层;

邻接所述金属层的黄铜层;以及

邻接所述黄铜层的聚合物层。

2.根据权利要求1所述的封装件,其中所述封装件为晶片芯片级封装件WCSP。

3.根据权利要求1所述的封装件,其中所述聚合物层包含聚酰亚胺材料。

4.根据权利要求1所述的封装件,其中所述黄铜层具有在0.3微米至4.0微米的范围内的厚度。

5.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述黄铜层的凸点下金属化层UBM和邻接所述UBM的焊锡凸点。

6.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述金属层的凸点下金属化层UBM和邻接所述UBM的焊锡凸点。

7.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述黄铜层的焊锡凸点。

8.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述金属层和所述聚合物层的焊锡凸点。

9.根据权利要求1所述的封装件,其中所述金属层为铜层。

10.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括多个金属塞,所述多个金属塞可通信地耦接至所述管芯和所述聚合物层。

11.一种封装件,包括:

管芯,所述管芯具有键合焊盘;以及

再分配层,所述再分配层耦接至所述管芯,所述再分配层包括:

聚合物层,所述聚合物层邻接所述管芯;以及

金属层,所述金属层至少部分地定位在所述聚合物层内,所述金属层邻接黄铜层。

12.根据权利要求11所述的封装件,其中所述封装件包括晶片芯片级封装件WCSP。

13.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括凸点下金属化层UBM,所述UBM具有邻接焊锡凸点的第一表面和邻接所述黄铜层的第二表面。

14.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括凸点下金属化层UBM,所述UBM具有邻接焊锡凸点的第一表面和邻接所述金属层的第二表面。

15.根据权利要求11所述的封装件,其中所述黄铜层具有在0.3微米至4.0微米的范围内的厚度。

16.根据权利要求11所述的封装件,其中所述金属层包含铜。

17.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括邻接所述黄铜层和所述聚合物层的焊锡凸点。

18.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括邻接所述金属层和所述聚合物层的焊锡凸点。

19.根据权利要求11所述的封装件,其中所述金属层和所述黄铜层形成柱,所述柱延伸越过由所述聚合物层的表面形成的平面。

20.根据权利要求19所述的封装件,其中所述黄铜层邻接所述金属层的表面,所述金属层的表面大致平行于所述管芯的表面。

21.一种用于制造封装件的方法,包括:

将铜层定位在管芯上方;

将锌层定位在所述铜层上;

加热所述锌层和所述铜层以产生黄铜层,所述黄铜层邻接所述铜层;以及

将聚合物层定位成邻接所述黄铜层。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德克萨斯仪器股份有限公司,未经德克萨斯仪器股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011494924.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top