[发明专利]倒装芯片再分配层中的黄铜涂覆的金属在审
申请号: | 202011494924.3 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN113013122A | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | V·S·斯里德哈兰;C·D·曼纳克;N·达沃德;S·F·帕沃内;P·F·汤普森 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 徐东升 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装 芯片 再分 中的 黄铜 金属 | ||
1.一种封装件,包括:
管芯;以及
再分配层,所述再分配层耦接至所述管芯,所述再分配层包括:
金属层;
邻接所述金属层的黄铜层;以及
邻接所述黄铜层的聚合物层。
2.根据权利要求1所述的封装件,其中所述封装件为晶片芯片级封装件WCSP。
3.根据权利要求1所述的封装件,其中所述聚合物层包含聚酰亚胺材料。
4.根据权利要求1所述的封装件,其中所述黄铜层具有在0.3微米至4.0微米的范围内的厚度。
5.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述黄铜层的凸点下金属化层UBM和邻接所述UBM的焊锡凸点。
6.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述金属层的凸点下金属化层UBM和邻接所述UBM的焊锡凸点。
7.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述黄铜层的焊锡凸点。
8.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括邻接所述金属层和所述聚合物层的焊锡凸点。
9.根据权利要求1所述的封装件,其中所述金属层为铜层。
10.根据权利要求1所述的封装件,进一步包括多个金属塞,所述多个金属塞可通信地耦接至所述管芯和所述聚合物层。
11.一种封装件,包括:
管芯,所述管芯具有键合焊盘;以及
再分配层,所述再分配层耦接至所述管芯,所述再分配层包括:
聚合物层,所述聚合物层邻接所述管芯;以及
金属层,所述金属层至少部分地定位在所述聚合物层内,所述金属层邻接黄铜层。
12.根据权利要求11所述的封装件,其中所述封装件包括晶片芯片级封装件WCSP。
13.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括凸点下金属化层UBM,所述UBM具有邻接焊锡凸点的第一表面和邻接所述黄铜层的第二表面。
14.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括凸点下金属化层UBM,所述UBM具有邻接焊锡凸点的第一表面和邻接所述金属层的第二表面。
15.根据权利要求11所述的封装件,其中所述黄铜层具有在0.3微米至4.0微米的范围内的厚度。
16.根据权利要求11所述的封装件,其中所述金属层包含铜。
17.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括邻接所述黄铜层和所述聚合物层的焊锡凸点。
18.根据权利要求11所述的封装件,进一步包括邻接所述金属层和所述聚合物层的焊锡凸点。
19.根据权利要求11所述的封装件,其中所述金属层和所述黄铜层形成柱,所述柱延伸越过由所述聚合物层的表面形成的平面。
20.根据权利要求19所述的封装件,其中所述黄铜层邻接所述金属层的表面,所述金属层的表面大致平行于所述管芯的表面。
21.一种用于制造封装件的方法,包括:
将铜层定位在管芯上方;
将锌层定位在所述铜层上;
加热所述锌层和所述铜层以产生黄铜层,所述黄铜层邻接所述铜层;以及
将聚合物层定位成邻接所述黄铜层。
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