[发明专利]一种寻址式超声换能器阵列及柔性矩阵的制备方法

权利要求书

1.一种寻址式超声换能器阵列，其特征在于：包括压电阵元(1)、银浆涂层(2)和柔性矩阵(3)，所述压电阵元(1)嵌入到柔性矩阵(3)的方形槽(4)中，银浆涂层(2)涂覆于压电阵元(1)与方形槽(4)表面；

所述柔性矩阵(3)包括方形槽(4)、铰链(5)、铜箔(6)和接线盘；方形槽(4)按照行列排布，方形槽(4)和接线盘通过铰链(5)连接；铜箔(6)贴在铰链(5)每行的上表面以及每列的下表面；所述铰链(5)的材料选用聚酰亚胺，所述压电阵元(1)的材料选用锆钛酸铅压电陶瓷，每一个压电阵元的上表面通过银浆涂层与方形槽上表面电气连接，再通过聚酰亚胺蛇形铰链上表面的铜箔与行接线盘形成电学导通；每一个压电阵元的下表面通过银浆涂层与方形槽下表面电气连接，再通过聚酰亚胺蛇形铰链下表面的铜箔与列接线盘形成电学导通；方形槽与聚酰亚胺蛇形铰链上下表面的铜箔电学绝缘。

2.根据权利要求1所述的寻址式超声换能器阵列，其特征在于：所述铰链(5)为蛇形平面结构。

3.根据权利要求1所述的寻址式超声换能器阵列，其特征在于：所述接线盘包括行接线盘(7)和列接线盘(8)，行、列接线盘位于每一行、列的末端。

4.根据权利要求1所述的寻址式超声换能器阵列，其特征在于：所述接线盘数量小于压电阵元(1)数量。

5.一种权利要求1所述柔性矩阵的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将铜箔(6)贴在铰链(5)的两面；使用激光精密加工系统将上述两面贴附铜箔(6)的铰链(5)雕刻成型，并用激光烧蚀去除铰链(5)每列上表面以及每行下表面的铜箔(6)，得到柔性矩阵(3)。

6.根据权利要求5所述柔性矩阵的制备方法，其特征在于：所述铰链(5)为聚酰亚胺薄膜。

7.根据权利要求5所述柔性矩阵的制备方法，其特征在于：所述铜箔(6)通过环氧胶贴在铰链(5)的两面。

8.根据权利要求5所述柔性矩阵的制备方法，其特征在于：所述激光烧蚀过程采用行扫描方式去除铜箔(6)。