[发明专利]对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量有效
| 申请号： | 202011498154.X | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113013015B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | L·G·鲍德温;J·W·史密斯;E·B·麦考雷 | 申请（专利权）人： | 萨默费尼根有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/06;H01J49/16;H01J49/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周全;陈洁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对于 仪器 重复性 发射 电流 测量 | ||
1.一种离子源组件，包括：
电子源，所述电子源被配置为将电子注入到离子体积中以使所述离子体积中的原子或分子电离，其中，所述电子源包括细丝；
透镜电极，所述透镜电极位于所述电子源附近并包括开口，其中，所述开口被配置为使电子从所述电子源穿过所述开口进入所述离子体积；
电源电压源，所述电源电压源耦合至所述细丝，其中，所述电源电压源被配置为向所述细丝供应第一电压，其中，所述第一电压可操作为使所述离子体积中的分子电离；和
偏置电压源，所述偏置电压源耦合至所述电源电压源并被配置为向所述透镜电极供应偏置电压，使得所述细丝和所述透镜电极之间的电势差在分析周期内保持恒定，其中，撞击所述透镜电极的电子返回到所述细丝。
2.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述电源电压源被配置为向所述细丝供应第二电压，其中，所述第二电压不可操作为使所述离子体积中的分子电离。
3.根据权利要求2所述的离子源组件，其中，所述电源电压源被配置为交替供应所述第一电压和所述第二电压。
4.根据权利要求2所述的离子源组件，其中，所述第一电压是-70伏，并且所述第二电压是-20伏。
5.根据权利要求2所述的离子源组件，其中，当所述电源电压源供应所述第一电压时，所述透镜电极电压等于15伏；其中，当所述电源电压源供应所述第二电压时，所述透镜电极电压等于65伏。
6.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述细丝是电浮动的。
7.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述透镜电极是电浮动的。
8.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述离子体积被电接地。
9.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述偏置电压源包括直流（DC）偏置电源。
10.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述偏置电压源相对于所述电源电压源的固定电势为85伏。
11.根据权利要求1所述的离子源组件，其中，所述电子源被配置为以固定或可变占空比将电子注入到所述离子体积中。
12.一种离子源组件，包括：
电子源，所述电子源被配置为发射电子，其中，所述电子源包括电浮动的细丝，其中，电子的第一部分进入离子体积以使所述离子体积中的原子或分子电离；
透镜电极，所述透镜电极位于所述电子源附近，其中，所述透镜电极是电浮动的；
电源电压源，所述电源电压源耦合至所述细丝，其中，所述电源电压源被配置为向所述细丝供应第一电压，其中，所述第一电压可操作为使所述离子体积中的分子电离；和
偏置电压源，所述偏置电压源耦合至所述电源电压源并被配置为向所述透镜电极供应偏置电压，使得所述细丝和所述透镜电极之间的电势差在分析周期内保持恒定；
其中，所述透镜电极被配置为收集电子的第二部分，其中，所述电子的第二部分流回到所述细丝。
13.根据权利要求12所述的离子源组件，其中，所述电源电压源被配置为向所述细丝供应第二电压，其中，所述第二电压不可操作为使所述离子体积中的分子电离。
14.根据权利要求13所述的离子源组件，其中，所述第一电压是-70伏，并且所述第二电压是-20伏。
15.根据权利要求12所述的离子源组件，其中，所述偏置电压相对于所述电源电压源保持在固定的电势。
16.根据权利要求15所述的离子源组件，其中，所述偏置电压源相对于所述电源电压源的固定电势为85伏。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于萨默费尼根有限公司，未经萨默费尼根有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011498154.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
