[发明专利]抽气装置

权利要求书

1.一种抽气装置，其特征在于，包括：

反应器，具有反应腔及连通所述反应腔的进气口；

石墨托盘，设置在所述反应腔内，所述石墨托盘上设置有衬底；

支撑筒，所述支撑筒的一端和所述石墨托盘连接，所述支撑筒的另一端和所述反应器的底壁内侧连接；

升降杆，沿竖直方向可移动地设置在所述反应器的底壁上；

升降板，设置在所述升降杆上；

外筒，套设在所述石墨托盘的外侧且设置在所述升降板上，所述外筒包括第一竖直段、倾斜段和第二竖直段，所述倾斜段的两端分别与所述第一竖直段和所述第二竖直段连接，所述第一竖直段的直径小于所述第二竖直段的直径，所述倾斜段沿水平方向和所述石墨托盘相对设置；

抽气口，设置在所述反应器的侧壁下端，且与所述反应腔连通。

2.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，所述抽气装置还包括均气圈，所述均气圈设置在所述升降板上且位于所述支撑筒和所述外筒之间，所述均气圈上沿竖直方向均匀设置有若干均气孔。

3.根据权利要求2所述的抽气装置，其特征在于，所述均气孔的截面积之和为所述抽气口的截面积之和的1.2-1.5倍。

4.根据权利要求2所述的抽气装置，其特征在于，所述抽气装置还包括保温筒，所述保温筒设置在所述均气圈上且套设于所述支撑筒的外侧。

5.根据权利要求1所述的抽气装置，其特征在于，所述抽气装置还包括防尘组件，所述防尘组件套设于所述升降杆的外侧，所述防尘组件包括多个防尘套，多个所述防尘套沿竖直方向相互套设，位于上侧的所述防尘套的直径大于位于下侧的所述防尘套的直径，位于最上侧的所述防尘套的上端和所述升降板连接，位于最下侧的所述防尘套的下端和所述反应器的底壁连接。

6.根据权利要求5所述的抽气装置，其特征在于，位于上侧的所述防尘套的下端向内侧延伸设置有第一凸起，位于下侧的所述防尘套的上端向外侧延伸设置有第二凸起，所述第二凸起与所述第一凸起相互扣接。

7.根据权利要求6所述的抽气装置，其特征在于，多个所述防尘套与所述升降杆的中心线同轴设置。

8.根据权利要求7所述的抽气装置，其特征在于，所述防尘组件包括第一防尘套、第二防尘套和第三防尘套，所述第一防尘套的上端和所述升降板连接，所述第一防尘套的下端设置有所述第一凸起；所述第二防尘套的上端设置有所述第二凸起，所述第二防尘套的下端设置有所述第一凸起，所述第二防尘套的所述第二凸起和所述第一防尘套的所述第一凸起相互扣接；所述第三防尘套的上端设置有所述第二凸起，所述第三防尘套的下端和所述反应器的底壁连接，所述第三防尘套的所述第二凸起和所述第二防尘套的所述第一凸起相互扣接；所述第一防尘套的直径小于所述第二防尘套的直径，所述第二防尘套的直径小于所述第三防尘套的直径。

9.根据权利要求4所述的抽气装置，其特征在于，所述石墨托盘、所述支撑筒、所述保温筒、所述均气圈、所述升降板和所述反应器同轴设置。