[发明专利]基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法

权利要求书

1.一种基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法，该方法采用的光学器件面温度分布检测系统包括二维振镜、激光器、光学器件、温度检测模块、信号处理模块、反射镜、激光功率计；

其中，二维振镜、激光器、光学器件、温度检测模块构成测温系统；二维振镜可由微处理器提供信号，通过驱动放大电路驱动光学扫描头，从而在光学器件所在的X_Y平面控制激光束偏转，即振镜可以改变激光器照射的方向，以实现随机激励；激光器照射光学器件，光学器件吸收照射激光束能量而产生温升；温度检测模块仅用一对负温度系数传感器与光学器件相接触，测量由随机激光激励引起的光学器件温升并将温度信号转换为电信号；

其中，信号处理模块构成信号后处理模块，信号处理模块先对测温系统产生的电信号进行放大滤波处理，再将放大滤波后的电信号转化为数字信号并送入微处理器或FPGA进行处理，实现对基于压缩感知的温度信号采样的信号重构；

其中，激光功率计用来测激光器的功率；

该基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法，对待测对象采取较少次数的测量，即可恢复原始信号，与传统测温方法相比，负温度系数传感器传感器与微处理器的通信次数降低，因而其需要的通信带宽也越低；

该基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法使用二维振镜改变激光器方向并代替了固定方向入射的激光器，以实现随机激励；

该基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法使用灵敏度极高的一对负温度系数传感器，代替了传统的阵列、扫描的面温度检测方法，实现了对面温度的无间隙测量。

2.根据权利要求1所述的基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法，其特征在于：应用电桥测温原理，在桥臂中引入参考臂，以满足在环境温度改变的情况下也能达到高精度测温的需要。

3.根据权利要求1所述的基于压缩感知的光学器件面温度分布检测方法，其特征在于：信号处理模块先对信号进行放大滤波处理，再由模数转换器将放大滤波后的模拟信号转换为数字信号后，送入微处理器或FPGA进行处理。