[发明专利]一种气浮式调节探针台

权利要求书

1.一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接触导通。

2.根据权利要求1所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述旋转升降结构包括支撑套筒及转动座，所述支撑套筒通过滚珠套与支撑轴配合，所述转动座通过轴承组件与支撑套筒连接，所述载物板与支撑套筒连接。

3.根据权利要求2所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述转动座上设有斜槽及手杆，所述移动载物台上设有支板，该支板上设有位于斜槽中的导引柱。

4.根据权利要求2所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述移动载物台上设有角度微调机构，角度微调机构包括角度调节板、相对设置的调节支撑板、设置于一调节支撑板上的弹性顶杆及设置于另一调节支撑板上的角度调节杆，该角度调节板与支撑套筒连接，所述角度调节板位于弹性顶杆及角度调节杆间且与上述两者接触。

5.根据权利要求1所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述X向调节机构包括X向滑板及X向微调杆，所述Y向调节机构包括设置于X向滑板上的Y向滑板及Y向微调杆；所述Z向调节机构包括设置于Y向滑板上的Z向滑板及Z向微调杆，所述安装板与Z向滑板连接。

6.根据权利要求5所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述X向滑板上设有能够于X向滑板上转动的V形杆一，所述Y向微调杆能够挤压V形杆一的一个杆脚使V形杆一转动，且同时V形杆一的另一个杆脚能够推动Y向滑板移动，且Y向滑板与X向滑板间设有能够使Y向滑板复位的弹性件一。

7.根据权利要求5所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述Y向滑板上设有能够于Y向滑板上转动的V形杆二25，所述Z向微调杆能够挤压V形杆二25的一个杆脚使V形杆二25转动，且同时V形杆二25的另一个杆脚能够带动Z向滑板升起。

8.根据权利要求6所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述Y向滑板上设有滚轮一，所述V形杆一的另一个杆脚能够推动滚轮一。

9.根据权利要求7所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述V形杆二25的另一个杆脚上设有滚轮二，所述滚轮二与Z向滑板接触。

10.根据权利要求5所述的一种气浮式调节探针台，其特征在于：所述操作平台上设有X向导向轨、X向导向座，所述X向导向座上设有Y向导向轨，所述移动载物台上设有导向槽，所述Y向导向轨位于导向槽中。