[发明专利]一种三氟化氮生产中电解液转运槽

说明书

本发明公开了一种三氟化氮生产中电解液转运槽，包括槽体，槽体的底部壁内设有多个安装槽，每个安装槽内均设有用于给槽体内电解液加热的电热丝，电热丝与控制机构电连接；所述槽体的上端面设有电机，所述槽体内设有用于搅拌电解液的搅拌机构；所述电机的转轴贯穿槽体内连接所述搅拌机构，为搅拌机构提供动力；所述槽体的壁内嵌设有多根互相连通的加热水管，加热水管连接设置在槽体外部的热水循环供应组件；热水循环供应组件通过第一传动组件连接提供所需动力的电机。使用本发明能够在槽体内的电解液温度低时自动加温，同时还能通过热水循环进行电解液的保温。

技术领域

本发明涉及三氟化氮制备领域技术领域，尤其涉及一种三氟化氮生产中电解液转运槽。

背景技术

三氟化氮在微电子工业中用作一种优良的等离子蚀刻气体。在三氟化氮生产中需要电解液，当这就需要用到三氟化氮生产中电解液转运槽。

电解液转运槽主要用于三氟化氮生产中正常电解液转运，或电解槽突发泄漏时临时存储电解液，防止环境污染，降低生产损失，同时现有的电解液的转运过程中需要保持其温度，避免热量损失电解液凝固，所以需要一种保温性能良好的三氟化氮生产中电解液转运槽来满足这一条件。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种三氟化氮生产中电解液转运槽，其能够在槽体内的电解液温度低时自动加温，同时还能通过热水循环进行电解液的保温。

为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的。

一种三氟化氮生产中电解液转运槽，包括槽体，槽体上贯穿设有进料管线、出液管线和放气阀门；所述槽体的内侧壁上设有防腐层；所述槽体的外侧壁上设有保温层；所述槽体的底部壁内设有多个安装槽，每个安装槽内均设有用于给槽体内电解液加热的电热丝，电热丝与控制机构电连接；

所述槽体的上端面设有电机，所述槽体内设有用于搅拌电解液的搅拌机构；所述电机的转轴贯穿槽体内连接所述搅拌机构，为搅拌机构提供动力；

所述槽体的壁内嵌设有多根互相连通的加热水管，加热水管连接设置在槽体外部的热水循环供应组件；热水循环供应组件通过第一传动组件连接提供所需动力的电机。

优选地，所述控制机构包括控制器以及设置在槽体内的温度感应器；所述温度感应器、控制器与电热丝电性连接并串联有电源。

优选地，所述搅拌机构包括固定连接在槽体内的动力箱，所述动力箱内设置有第二齿轮以及两个与第二齿轮啮合的第一齿轮；

所述电机的输出轴与第二齿轮同轴固连；两个第一齿轮分别与一个动力轴同轴固连；电机输出轴和两根动力轴均贯穿动力箱，三个轴均匀布局在槽体内空间；两根动力轴与电机的输出轴上均设有搅拌叶。

优选地，热水循环供应组件包括水箱、泵水机构和加热装置；水箱通过进水管连接泵水机构，泵水机构通过出水管连接加热装置，加热装置的热水输出管道连接槽体内的所述加热水管的入口；所述加热水管的出口通过连接管道连接水箱；泵水机构的动力输入轴通过所述第一传动组件连接电机。

优选地，所述泵水机构包括安装筒、密封滑动连接在安装筒内的活塞；所述安装筒一侧通过所述进水管连接所述水箱，另一侧通过所述出水管连接所述加热装置；所述进水管与出水管内均设有单向阀；活塞的杆部通过第二传动组件连接动力输入轴。

优选地，所述泵水机构进一步包括安装板，安装板上固定安装有转轴安装块、和所述安装筒；所述动力输入轴贯穿转轴安装块并可转动；动力输入轴上固定连接有蜗杆；

安装板上可转动的安装三个相互啮合的齿轮，位于中间的齿轮称为第三齿轮，位于左右的两个齿轮称为第四齿轮；第三齿轮同轴固连与所述蜗杆相配合的蜗轮；两个第四齿轮分别同轴固连一个半齿轮；

所述活塞的杆部伸出安装筒固定连接齿板，齿板与两个半齿轮相啮合；两个半齿轮朝向相同，交替与齿板啮合。