[发明专利]设备应用监控方法、半导体工艺设备

权利要求书

1.一种设备应用监控方法，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述方法包括：

获取设备应用的监控数据，所述监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；

对于每一个子时间段，在所述子时间段满足预警条件的情况下，生成所述子时间段对应的预警信息和所述子时间段对应的第一接口调用概率分布信息，其中，所述预警条件包括以下至少之一：所述子时间段的输入输出量大于或等于第一阈值、所述子时间段的硬件资源消耗量大于或等于第二阈值，所述第一接口调用概率分布信息指示每一个在所述子时间段内被调用的接口在所述子时间段内的调用次数占据所述子时间段对应的接口调用总次数的比例；

显示所述子时间段对应的预警信息和所述第一接口调用概率分布信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

对于每一个预设时间单位，计算所述预设时间单位对应的平均输入输出量，以及计算所述预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量，其中，所述预设时间单位包括以下至少之一：秒、分钟、小时、天；

当至少一个预设时间单位对应的平均输入输出量大于或等于第一平均阈值时，分别确定每一个所述子时间段的输入输出量是否大于或等于所述第一阈值；

当至少一个预设时间单位对应的平均硬件资源消耗量大于或等于第二平均阈值时，分别确定每一个所述子时间段的硬件资源消耗量是否大于或等于所述第二阈值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述监控数据还包括异常代码接口的异常信息；

所述方法还包括：

生成所述异常代码接口对应的预警信息和第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息，其中，在所述第一子时间段内至少一个所述异常代码接口被调用，所述异常代码接口为在被调用时产生了非法数据项的接口，所述异常信息包括所述异常代码接口的名称以及所述非法数据项，所述第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息指示每一个在所述第一子时间段内被调用的异常代码接口在所述第一子时间段内的调用次数占据所述第一子时间段对应的接口调用总次数的比例；

显示所述异常代码接口对应的预警信息和所述第一子时间段对应的第二接口调用概率分布信息。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述非法数据项包括：引用为空的非法数据项、超出设计范围的非法数据项。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

基于每一个所述第一子时间段的接口调用序列，确定第一接口调用序列，其中，所述第一接口调用序列中的每一个异常代码接口在每一个所述第一子时间段内均被调用过；

基于每一个第二子时间段的接口调用序列，确定第二接口调用序列，其中，所述第二子时间段为输入输出量大于或等于所述第一阈值的子时间段，所述第二接口调用序列中的每一个接口在每一个所述第二子时间段内均被调用过；

基于每一个第三子时间段的接口调用序列，确定第三接口调用序列，其中，所述第三子时间段为硬件资源消耗量大于或等于所述第二阈值的子时间段，所述第三接口调用序列中的每一个接口在每一个第三子时间段内均被调用过；

显示所述第一接口调用序列、所述第二接口调用序列、所述第三接口调用序列。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，通过反射追踪的方式获取所述第一子时间段的接口调用序列、所述第二子时间段的接口调用序列和所述第三子时间段的接口调用序列。