[发明专利]一种混合气体探测装置及系统在审
申请号: | 202011504881.2 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112683835A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 康晓旭 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/01 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;尹一凡 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 混合气体 探测 装置 系统 | ||
1.一种混合气体探测装置,其特征在于,包括:光源、分析腔、微通道以及光学传感芯片,
光源用于产生投射光,并向分析腔进行照射;
所述分析腔用于盛放待检测的混合气体;
所述光学传感芯片用于接收穿过所述分析腔的投射光,检测所述投射光的光谱信息;
所述微通道与所述分析腔连接,用于向所述分析腔中通入所述待检测的混合气体,在所述微通道上设置有针对指定气体的吸附材料,用于在所述混合气体通入过程中,对混合气体中的指定气体进行吸附,减缓该指定气体通入所述分析腔中的速度。
2.根据权利要求1所述的混合气体探测装置,其特征在于,还包括滤光部件,设置在所述光源与所述分析腔之间,用于对所述光源发出的连续光谱的投射光进行滤波,生成窄波段的投射光向所述分析腔照射。
3.根据权利要求2所述的混合气体探测装置,其特征在于,所述滤光部件包括多个对应不同波段的单波段滤光镜头,所述多个单波段滤光镜头设置在可转动的载物台上,通过所述载物台的转动,依次生成多个窄波段的投射光向所述分析腔照射。
4.根据权利要求1至3任一所述的混合气体探测装置,其特征在于,在所述分析腔和所述光学传感芯片之间还设置有透镜组件,用于将穿过所述分析腔的投射光聚焦到所述光学传感芯片上。
5.根据权利要求1至3任一所述的混合气体探测装置,其特征在于,所述光源为红外光源,所述检测所述投射光的光谱信息包括:检测所述投射光的红外吸收光谱。
6.根据权利要求1至3任一所述的混合气体探测装置,其特征在于,在所述分析腔还设置有抽气泵,用于将所述分析腔中的混合气体向外排出。
7.根据权利要求1至3任一所述的混合气体探测装置,其特征在于,所述微通道为多个,各个微通道上设置有针对不同指定气体的吸附材料,通过对多个微通道进行切换,实现对所述混合气体中的不同气体成分进行分离。
8.一种混合气体探测系统,其特征在于,包括:
权利要求1至5任一所述的混合气体探测装置,其中,各个混合气体探测装置的分析腔以串联的方式连接在一起,各个混合气体探测装置的微通道上设置有针对不同指定气体的吸附材料。
9.根据权利要求8所述的混合气体探测系统,其特征在于,在最后一个分析腔上设置有抽气泵,用于将各分析腔中的混合气体向外排出。
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