[发明专利]一种基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器及SPR检测设备

权利要求书

1.一种基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于，包括：

发射模块，所述发射模块包括光源(11)，所述发射模块用于产生检测光，检测光为水平偏振状态的准直光束；

调制模块，所述调制模块包括扫描振镜(21)、第一准直透镜(22)、聚焦透镜(23)，所述扫描振镜(21)用于反射检测光；

检测模块，所述检测模块包括检测池(31)、金属层、棱镜(32)，所述金属层设置在所述检测池(31)上，所述棱镜(32)设置在所述金属层上；

接收模块，所述接收模块包括接收器(41)、第二准直透镜(42)，检测光依次通过所述扫描振镜(21)、所述第一准直透镜(22)、所述聚焦透镜(23)、所述检测模块、所述第二准直透镜(42)进入所述接收器(41)。

2.根据权利要求1所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：所述接收器(41)采用线阵探测器。

3.根据权利要求1所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：所述调制模块包括第一调节透镜(24)，所述第一调节透镜(24)设置在所述第一准直透镜(22)和所述聚集透镜(23)之间，所述第一调节透镜(24)用于调节检测光射入检测模块的位置。

4.根据权利要求1所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：所述接收模块包括第二调节透镜(43)，所述第二调节透镜(43)设置在所述接收器(41)和所述第一准直透镜(42)之间，所述第二调节透镜(43)用于调节检测光射入所述接收器(41)的位置。

5.根据权利要求1或4所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：所述接收模块包括衰减片(44)，检测光穿过所述衰减片(44)射入所述接收器(41)，所述衰减片(44)用于调节照射到检测器上的检测光的强度。

6.根据权利要求1所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器包括基座(51)，基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器包括设置在所述基座(51)上的第一角度调节模块和/或第二角度调节模块，所述第一角度调节模块用于调节检测光射入所述检测模块的角度，所述第二角度调节模块用于调节检测光射出所述检测模块的角度。

7.根据权利要求6所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器包括所述第一角度调节模块，所述第一角度调节模块包括第一调节块(52)，所述第一调节块(52)可移动地设置在所述基座(51)上，所述基座(51)上铰接有第一支撑座(53)，所述第一支撑座(53)上设置所述发射模块和所述调制模块，所述第一调节块(52)与所述第一支撑座(53)接触。

8.根据权利要求6所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器包括所述第二角度调节模块，所述第二角度调节模块包括第二调节块(54)，所述第二调节块(54)可移动地设置在所述基座(51)上，所述基座(51)上铰接有第二支撑座(55)，所述第二支撑座(55)上设置所述接收模块，所述第二调节块(54)与所述第二支撑座(55)接触。

9.根据权利要求1所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器，其特征在于：所述光源(11)采用激光器。

10.一种SPR检测设备，其特征在于：SPR检测设备包括如权利要求1至9任一项所述的基于扫描振镜的角度调制型SPR传感器。