[发明专利]一种惰性气体纯化的撬块装置及方法

权利要求书

1.一种惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：包括底座(7)，安装在所述底座(7)上的换热器(1)、冷却器(3)、吸附单元(2)以及收集单元；所述换热器(1)具有至少两组进气口和出气口，其中一个所述进气口与惰性气体进气端连通，其中一个出气口和另一个进气口分别与所述吸附单元(2)的进口和出口相连通，另一个出气口与所述冷却器(3)相连通。

2.根据权利要求1所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述吸附单元(2)包括内部加热组件(8)、套设在所述内部加热组件(8)外的外部加热组件(10)、套设在所述外部加热组件(10)外的保温组件(11)、装填在所述内部加热组件(8)和所述外部加热组件(10)形成的容纳空间内的吸气剂(9)、插入所述容纳空间底部的进气管、与所述容纳空间顶部相连通的出气管。

3.根据权利要求1或2所述的惰性气体纯化的撬块装置，所述换热器(1)包含两组进气口和出气口。

4.根据权利要求2所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述吸气剂(9)为ZrAl吸气剂、ZrVFe吸气剂、BaTi吸气剂、BaAl吸气剂中的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述内部加热组件(8)包括一个或多个加热器，所述外部加热组件(10)包括一个或多个加热器，和/或，所述外部加热器的数量大于所述内部加热器的数量。

6.根据权利要求2所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述内部加热组件(8)的外侧与所述外部加热组件(10)的内侧分别设有隔离所述内部加热组件(8)、所述吸气剂(9)及隔离所述吸气剂(9)、所述外部加热组件(10)的隔离板；所述吸附单元(2)内还设有底板、顶板，所述底板、所述顶板与所述隔离板共同围设成所述容纳空间。

7.根据权利要求2所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述吸附单元(2)还包括套设在所述保温组件(11)外的外壳(12)，所述外壳(12)设有能够打开和闭合的顶壳、能够打开和闭合的底壳；所述保温组件(11)包括能够打开和闭合的顶保温层、能够打开和闭合的底保温层和侧保温层。

8.根据权利要求1所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述收集单元包括分别与所述冷却器(3)连接的缓冲罐(4)和真空泵(5)，所述缓冲罐(4)和所述真空泵(5)上设有出气口。

9.根据权利要求1或8所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述撬块装置还包括安装在所述底板上的电控箱(6)，所述电控箱(6)分别与所述换热器(1)、所述吸附单元(2)、所述冷却器(3)连接。

10.根据权利要求9所述的惰性气体纯化的撬块装置，其特征在于：所述冷却器(3)的出口端还设有取样单元，所述取样单元包括球阀(18)、减压阀(19)、纯度测量仪(20)，所述球阀(18)、所述减压阀(19)、所述纯度测量仪(20)分别与所述电控箱(6)连接。

11.一种惰性气体纯化的方法，其特征在于：将未纯化的惰性气体通入如权利要求1至10任一项所述的撬块装置进行纯化。