[发明专利]一种用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法

权利要求书

1.一种用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

1)对钛基体表面进行预处理，具体包括：

1.1)对钛基体进行表面除油和喷砂处理，所述喷砂处理采用钢砂进行直至表面粗糙度Ra15µm ；

1.2)对喷砂后的钛基体进行热校形处理；

1.3)将校形好的钛基体在浓度为3～15％的稀盐酸中浸泡8～24h，然后在浓度为5～10％的草酸溶液中煮沸0.5～3h；

1.4)将钛基体进行清洗、晾干；

2)配制活性液：将铱源、钽源、钴源分别溶解于有机溶剂中形成溶液A、溶液B、溶液C；将溶液A、溶液B、溶液C按照摩尔比为Ir：Ta：Co＝7:3:(1.5～6)混合均匀形成活性液D；

3)烧结。

2.根据权利要求1所述的用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法，其特征在于，所述步骤2)的铱源选自氯铱酸、三氯化铱、溴铱酸中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法，其特征在于，所述步骤2)的钽源选自五氯化钽正丁醇溶液、丁二醇钽、乙醇钽中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法，其特征在于，所述步骤2)的钴源选自氯化钴、硝酸钴中的任意一种或其混合物。

5.根据权利要求1所述的用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中的有机溶剂选用正丁醇、异丙醇、乙醇中的任意一种或其混合物。

6.根据权利要求1所述的用于PCB水平电镀的贵金属阳极的制备方法，其特征在于，所述步骤3)烧结，具体包括：

3.1)在预处理后的钛基体上涂刷配制好的活性液，自然晾干后置于60～100℃烘箱中使溶剂完全挥发；

3.2)将步骤3.1)处理后的钛基体置于450～500℃马弗炉中烧结10～25min，取出，待冷却至室温；

3.3)重复步骤3.1)、3.2)，直至涂液完全涂完；

3.4)将涂刷后的钛基材在450～500℃马弗炉中保温30-90min取出，自然冷却至室温。