[发明专利]传感器单元、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供了降低噪声并具有优异的检测特性的传感器单元、电子设备以及移动体。传感器单元具有基板、配置于所述基板并具备第一加速度传感器的第一传感器模块以及配置于所述基板并具备第二加速度传感器的第二传感器模块，所述第一传感器模块以及所述第二传感器模块在所述基板的一面侧相邻地配置，所述第一加速度传感器在所述第一传感器模块内偏靠所述第二传感器模块侧配置，所述第二加速度传感器在所述第二传感器模块内偏靠所述第一传感器模块侧配置。

技术领域

本发明涉及传感器单元、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，在专利文献1中记载了具备如下电路的加速度传感器单元：将九个或十六个MEMS加速度传感器以3×3或4×4的阵列配置在一张基板上，并在将它们的输出进行电相加之后使其通过带通滤波器。根据这样的结构，能够根据MEMS加速度传感器的个数的平方根来改善SN比。

专利文献1：日本特开2009-031032号公报

发明内容

然而，在这样的结构的加速度传感器单元中，存在如下可能性：根据多个加速度传感器的位置关系，各个传感器受到的加速度不同，从而精度下降。

本发明的传感器单元具有：基板；第一传感器模块，配置于所述基板，并具备第一加速度传感器；以及第二传感器模块，配置于所述基板，并具备第二加速度传感器，所述第一传感器模块以及所述第二传感器模块在所述基板的一面侧相邻地配置，所述第一加速度传感器在所述第一传感器模块内偏靠所述第二传感器模块侧配置，所述第二加速度传感器在所述第二传感器模块内偏靠所述第一传感器模块侧配置。

本发明的电子设备具有上述的传感器单元以及基于从所述传感器单元输出的检测信号来进行控制的控制电路。

本发明的移动体具有上述的传感器单元以及基于从所述传感器单元输出的检测信号来进行控制的控制电路。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的传感器单元的立体图。

图2是示出图1所示的传感器单元的内部的俯视图。

图3是示出基板以及配置于该基板的三个传感器模块的分解立体图。

图4是示出传感器模块的分解立体图。

图5是示出传感器模块所具有的电路基板的顶视图。

图6是图5所示的电路基板的仰视图。

图7是示出角速度传感器的结构的图。

图8是示出加速度传感器的俯视图。

图9是示出a轴加速度传感器元件的俯视图。

图10是示出b轴加速度传感器元件的俯视图。

图11是示出c轴加速度传感器元件的俯视图。

图12是示出与图3不同的三个传感器模块的配置的分解立体图。

图13是示出第二实施方式所涉及的传感器单元的分解立体图。

图14是示出第三实施方式所涉及的传感器单元的分解立体图。

图15是示出变形例的俯视图。

图16是示出第四实施方式所涉及的智能手机的立体图。

图17是示出第五实施方式所涉及的移动体定位装置的整体系统的框图。

图18是示出图17所示的移动体定位装置的作用的图。

图19是示出液压挖掘机的侧视图。

图20是示出第六实施方式所涉及的汽车的立体图。