[发明专利]一种负载片及其制作方法

说明书

本发明属于微电子技术领域，尤其涉及一种负载片及其制作方法，所述负载片包括基板、接地电极、输入电极以及电阻；所述基板为扇环状结构；所述接地电极以及所述输入电板设置于所述基板的同侧，且所述接地电极与所述输入电极之间形成扇环状间隔区域；所述电阻设置于所述扇环状间隔区域内，且分别与所述接地电极以及所述输入电极连接。本发明实施例提供的负载片通过将基板设置为扇环状结构，并在基板上制作接地电极、输入电极以及电阻，使接地电极与输入电极之间形成扇环状间隔，并使电阻位于该扇环状间隔区域内，这种方式使得接地电阻与输入电阻在间隔区域内距离处处相等，且沿径向方向两个电极的均一性好，阻抗低，减小了回波损耗及导体损耗。

技术领域

本发明属于微电子技术领域，尤其涉及一种负载片及其制作方法。

背景技术

负载片是一种基础电子元件，主要包括基板以及设置于基板上的接地电极、信号输入电极以及电阻构成。负载片广泛地应用于通讯、电子领域。

现有技术中，通常将两个电极以及电阻均设计为矩形结构，这样的设计导存在诸多的弊端，包括负载片的散热差，高频特性不好，驻波匹配不易等。

现有技术提供的负载片难以满足高频电路中的使用要求，需要进行改进。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种负载片，旨在解决现有技术提供的负载片难以满足高频电路中的使用要求，需要进行改进。

本发明实施例是这样实现的，一种负载片，所述负载片包括基板、接地电极、输入电极以及电阻；

所述基板为扇环状结构；

所述接地电极以及所述输入电板设置于所述基板的同侧，且所述接地电极与所述输入电极之间形成扇环状间隔区域；

所述电阻设置于所述扇环状间隔区域内，且分别与所述接地电极以及所述输入电极连接。

本发明实施例的另一目的在于提供一种负载片制作方法，所述负载片制作方法包括以下步骤：

制作扇环状基板；

在所述基板上制作一层金属层，并刻蚀加工出扇环状间隔区域得到两个扇形环状电极；

在所述扇环状间隔区域内制作若干个间隔开来的扇环状电阻，并将相邻两个所述电阻之间的间隔区域的基板镂空处理。

本发明实施例提供的负载片通过将基板设置为扇环状结构，并在基板上制作接地电极、输入电极以及电阻，使接地电极与输入电极之间形成扇环状间隔，并使电阻位于该扇环状间隔区域内，这种方式使得接地电阻与输入电阻在间隔区域内距离处处相等，且沿径向方向两个电极的均一性好，阻抗低，减小了回波损耗及导体损耗。应用于高频电路可以很好实现高阶模抑制，驻波易于匹配，可以保持较好的高频特性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种负载片的立体结构图。

附图中：1、基板；2、接地电极；3、输入电极；4、电阻。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行详细描述。

如图1所示，为本发明实施例提供的一种负载片的结构图，所述负载片包括基板1、接地电极2、输入电极3以及电阻4；

所述基板1为扇环状结构；

所述接地电极2以及所述输入电板设置于所述基板1的同侧，且所述接地电极2与所述输入电极3之间形成扇环状间隔区域；