[发明专利]半导体温控装置输出量的控制方法及装置有效
| 申请号： | 202011511762.X | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112596557B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 常鑫;冯涛;宋朝阳;李文博;董春辉;芮守祯;何茂栋;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 陈新生 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 温控 装置 输出量 控制 方法 | ||
1.一种半导体温控装置输出量的控制方法，其特征在于，包括：
将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；
基于上个周期升降温速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量；
所述基于上个周期升降温速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量，具体包括：
基于上个周期升降温速度的实际瞬时值、上个周期给定输出量、当前周期之前的若干个周期的实际平均值和当前周期之前的若干个周期的平均给定输出量修正当前周期的给定输出量；
所述基于上个周期升降温速度的实际瞬时值、上个周期给定输出量、当前周期之前的若干个周期的实际平均值和当前周期之前的若干个周期的平均给定输出量修正当前周期的给定输出量的计算公式如下：
其中，Outi为第i个周期的给定输出量，SV为目标温度，PVi-1为第i-1个周期的实际温度，t为预设温度到达时间，T为每个周期的时长，k1为预设的第一修正系数，vi-1为第i-1个周期的升降温速度的实际瞬时值，Outi-1为第i-1个周期的给定输出量，k2为预设的第二修正系数，vLi-1为第i个周期之前周期的实际平均值，PV为初始实际温度，OutLi-i为第i个周期之前周期的平均给定输出量。
2.一种半导体温控装置输出量的控制装置，其特征在于，包括：
分解模块，用于将预设温度到达时间分解为多个相等的周期；
修正模块，用于基于上个周期升降温速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量；
所述基于上个周期升降温速度的实际瞬时值和上个周期给定输出量修正当前周期的给定输出量，具体包括：
基于上个周期升降温速度的实际瞬时值、上个周期给定输出量、当前周期之前的若干个周期的实际平均值和当前周期之前的若干个周期的平均给定输出量修正当前周期的给定输出量；
所述基于上个周期升降温速度的实际瞬时值、上个周期给定输出量、当前周期之前的若干个周期的实际平均值和当前周期之前的若干个周期的平均给定输出量修正当前周期的给定输出量的计算公式如下：
其中，Outi为第i个周期的给定输出量，SV为目标温度，PVi-1为第i-1个周期的实际温度，t为预设温度到达时间，T为每个周期的时长，k1为预设的第一修正系数，vi-1为第i-1个周期的升降温速度的实际瞬时值，Outi-1为第i-1个周期的给定输出量，k2为预设的第二修正系数，vLi-1为第i个周期之前周期的实际平均值，PV为初始实际温度，OutLi-i为第i个周期之前周期的平均给定输出量。
3.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1所述半导体温控装置输出量的控制方法的步骤。
4.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1所述半导体温控装置输出量的控制方法的步骤。
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