[发明专利]一种紧凑型多波长激光针刺仪

权利要求书

1.一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，沿光路行进方向包括多个由不同波长的半导体激光光源组成的激光阵列、整形系统、第一透镜、光栅、第二透镜、输出耦合镜、多路光纤以及光纤吸盘，所述输出耦合镜为部分反射部分透射镜；多个半导体激光光源发出的光束经过整形系统再被第一透镜准直后进入衍射光栅，多个光束被光栅衍射后以不同衍射角透过衍射光栅向后传输，被第二透镜准直后成为多束相互平行的激光光束到达输出耦合镜，一部分光线被输出耦合镜反射后反馈回光路中到达各自对应的出射半导体光源，形成激光振荡从而实现波长锁定，另一部分光线从输出耦合镜透过后分别进入多路光纤中的一路对应光纤，并进入对应的光纤吸盘；所述第一透镜具有正光焦度，所述第二透镜具有负光焦度，所述第一透镜的焦距小于第二透镜的焦距。

2.如权利要求1所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，所述第一透镜的焦距为F1，所述整形系统使得激光阵列到第一透镜的距离小于F1。

3.如权利要求2所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，所述整形系统包括多个微会聚透镜，在每个半导体激光光源后均对应设置一个微会聚透镜，用于对每个半导体光源发出的光束进行会聚。

4.如权利要求3所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，整形系统包括多个快轴和/或慢轴准直镜，其设置成在每个半导体激光光源之后均有快轴和/或慢轴准直镜以及微会聚透镜。

5.如权利要求1所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，所述整形系统包括两个会聚透镜，第一会聚透镜与第二会聚透镜之间的距离为第一会聚透镜和第二会聚透镜的焦距之和。

6.一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，沿光路行进方向包括多个不同波长的半导体激光光源组成的激光阵列、第一透镜、光栅、第二透镜、输出耦合镜、多路光纤以及光纤吸盘，所述输出耦合镜为部分反射部分透射镜；多个半导体激光光源发出的光束被第一透镜准直后进入衍射光栅，多个光束被光栅衍射后以不同衍射角透过衍射光栅向后传输，被第二透镜准直后成为多束相互平行的激光光束到达输出耦合镜，一部分光线被输出耦合镜反射后反馈回光路中到达各自对应的出射半导体光源，形成激光振荡从而实现波长锁定，另一部分光线从输出耦合镜透过后分别进入多路光纤中的一路对应光纤，并进入对应的光纤吸盘；所述第一透镜的焦距为F1，所述激光阵列到所述第一透镜的距离等于F1，所述第一透镜到所述光栅的距离小于F1，使得所述激光阵列发出的多束光束在光栅不同位置被衍射；所述第一透镜具有正光焦度，所述第二透镜具有负光焦度，所述第一透镜的焦距小于第二透镜的焦距。

7.如权利要求1-6之一所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，所述衍射光栅为平面衍射光栅或多层介质膜光栅，所述衍射光栅相对于光轴倾斜放置。

8.如权利要求1-6之一所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，衍射光栅的光栅常数为d，每一束激光被衍射后均满足光栅方程，d(sinθ₁+sinθ₂)＝mλ，其中，λ为每一激光束的波长，θ₁为激光束在衍射光栅的入射角，θ₂为激光束被衍射之后的衍射角，m表示衍射级次。

9.如权利要求1-6中之一所述的一种紧凑型多波长激光针刺仪，其特征在于，所述紧凑型多波长激光针刺仪还包括多个驱动电路和一个控制电路，每个驱动电路分别与激光阵列中的一个半导体激光源连接，所述控制电路与所述多个驱动电路连接，用于驱动一个或多个半导体激光光源工作。