[发明专利]可调谐外腔激光器

权利要求书

1.一种可调谐外腔激光器，其特征在于，包括：

立方分束棱镜，所述立方分束棱镜的分光面与第一方向和第二方向均呈45°角；

增益芯片，沿所述第一方向设置，所述增益芯片发出的光入射到所述分光面沿所述第一方向透射，并沿所述第二方向反射；

至少一个独立法布里-珀罗标准具，沿所述第二方向设置，用于光路中波长的选择和线宽的压窄，其中，所述至少一个独立法布里-珀罗标准具分别设置在所述立方分束棱镜的至少一侧，所述独立法布里-珀罗标准具背向所述立方分束棱镜一侧设置有第一反射镜；以及

空气隙法布里-珀罗腔，沿所述第一方向设置，所述空气隙法布里-珀罗腔和所述增益芯片分别设置在所述立方分束棱镜的两对侧，所述空气隙法布里-珀罗腔背向所述立方分束棱镜一侧设置有第二反射镜；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述空气隙法布里-珀罗腔包括沿所述第一方向并排设置的第一法布里-珀罗标准具和第二法布里-珀罗标准具，所述第一法布里-珀罗标准具固定设置，所述第二法布里-珀罗标准具上设置有第一可移动组件，所述第一反射镜上设置有第二可移动组件，所述第二反射镜上设置有第三可移动组件。

3.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述第一可移动组件、第二可移动组件和第三可移动组件均包括压电陶瓷片或热膨胀组件。

4.根据权利要求1至3任一所述的激光器，其特征在于，通过调整所述第一反射镜和所述第二反射镜的反射率来选择单轴输出模式或双轴输出模式。

5.根据权利要求1至3任一所述的激光器，其特征在于，所述独立法布里-珀罗标准具的数量为多个，多个所述独立法布里-珀罗标准具彼此的自由光谱区不同。

6.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，一个或多个所述独立法布里-珀罗标准具的板延伸方向与第一方向呈β角，相邻的两个所述独立法布里-珀罗标准具的β角不相同，所述β角的范围为0°～3°。

7.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述至少一个独立法布里-珀罗标准具的两侧设置有高反膜。

8.根据权利要求2所述的激光器，其特征在于，所述外腔激光器包括多个所述空气隙法布里-珀罗腔。

9.根据权利要求8所述的激光器，其特征在于，多个所述空气隙法布里-珀罗腔的板延伸方向与第二方向呈θ角，相邻的两个所述空气隙法布里-珀罗腔的θ角不相同，所述θ角的范围为0°～3°。

10.根据权利要求8所述的激光器，其特征在于，所述第一法布里-珀罗标准具和所述第二法布里-珀罗标准具彼此相对一面设置有高反膜，另一面设置有增透膜。