[发明专利]基于晶圆级封装的隔离电源芯片及其制备方法在审
申请号: | 202011515515.7 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112652615A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 程林;潘东方 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L23/64;H01L21/50;H02M1/08;H02M3/335 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 鄢功军 |
地址: | 230026 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 晶圆级 封装 隔离 电源 芯片 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于晶圆级封装的隔离电源芯片,包括:
基于RDL的微型变压器,其初级线圈连接直流电源并将直流电源输入的直流电压输出;
发射芯片,与所述基于RDL的微型变压器的初级线圈相连,用于接收所述直流电压并转换为交流信号传输至基于RDL的微型变压器的次级线圈;
接收芯片,与所述基于RDL的微型变压器的次级线圈相连,用于将所述交流信号转换为直流信号,根据负载变化产生能够稳定输出电压的控制信号,并将控制信号进行编码以进行数字隔离。
2.根据权利要求1所述的隔离电源芯片,所述基于RDL的微型变压器,包括:
初级线圈,基于RDL加工而成;
次级线圈,基于RDL加工而成;以及
互联线,包括初级线圈一侧引出的基于RDL制作的连接至发射芯片的端口的互联线;次级线圈一侧引出的基于RDL制作的连接至接收芯片端口的互联线。
3.根据权利要求2所述的隔离电源芯片,其中:
所述初级线圈、次级线圈的线圈缠绕结构为单螺旋或双螺旋结构;
所述初级线圈、次级线圈处于同一平面或对应平行层叠的不同平面;
所述初级线圈、次级线圈的线圈缠绕形状包括:圆形,椭圆形,矩形,正N边形,N≥4。
4.根据权利要求1所述的隔离电源芯片,所述发射芯片200包括:交叉耦合振荡器,以及解码电路;
所述解码电路用于将编码后的控制信号解码成开关信号,控制交叉耦合振荡器开或关。
5.根据权利要求5所述的隔离电源芯片,所述交叉耦合振荡器包括:
第一MOS管和第二MOS管,所述第一MOS管的栅极通过第一分压电容与第二MOS管的漏极相连,所述第二MOS管的栅极通过第二分压电容与第一MOS管的漏极相连;
直流偏置电压,一端通过第一偏置电阻连接到第一MOS管的栅极;另一端通过第二偏置电阻连接到第二MOS管的栅极;以及
开关MOS管,其漏极分别连接至第一MOS管和第二MOS管的源级,所述开关MOS管的源极接地,所述开关MOS管的栅极接所述解码电路的输出端。
6.根据权利要求1所述的隔离电源芯片,所述交叉耦合振荡器包括:所述接收芯片包括:整流电路,以及反馈控制电路;
所述反馈控制电路包括:
反馈控制器,用于采样输出电压的变化产生稳定输出电压的控制信号,并对控制信号进行编码;所述反馈控制器采用的控制方式包括:脉宽调制控制方式、脉冲频率调制控制方式,或者上述两者混合模式控制方式;以及
数字变压器,编码后的控制信号通过数字变压器的一输入端口进行数字隔离传输,另一输入端口为第二接地端;
通过RDL将数字变压器的第一输出端口与发射芯片互联,所述数字变压器第二输出端口连接第一接地端。
7.一种基于晶圆级封装的隔离电源芯片的制备方法,用于制备以上权利要求1至6任一项所述的隔离电源芯片,所述制备方法包括:
操作S1:将发射芯片和接收芯片安装至衬底;
操作S2:在所述衬底和芯片上方制备隔离介质和RDL层并加工为微型变压器,并进行引出和信号端口互联;以及
操作S3:在所述微型变压器的表面制备外部接口,完成基于晶圆级封装的隔离电源芯片的制备。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其中:
所述安装的方法包括将衬底挖槽后嵌入芯片,或者将芯片贴在衬底外表面;
所述衬底的制备材料选自玻璃、硅或者是FR4;
所述RDL层的制备材料选自:铜、铝或金;
所述隔离介质层的制备材料选自玻璃、硅、FR4、聚酰亚胺、环氧树脂、或塑料。
9.根据权利要求8所述的制备方法,所述RDL层包括的布线层层数至少为一层,用于分别制作微型变压器的出现线圈、次级线圈、以及互联结构。
10.根据权利要求9所述的制备方法,所述RDL层包括第一布线层、第二布线层和第三布线层;由第一布线层制作微型变压器的初级线圈;由第三布线层制作微型变压器的次级线圈;位于芯片上方的第一布线层和芯片之间设置有多个第一通孔,第二布线层和第一布线层及初级线圈之间设置有多个第二通孔,第二布线层和第三布线层及次级线圈之间设置有多个第三通孔;所述初级线圈通过第二通孔连接第二布线层后,再通过第一通孔连接至发射芯片的端口,所述次级线圈通过第三通孔连接第二布线层,再通过第二通孔、第一通孔后连接至接收芯片的端口。
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