[发明专利]一种基于水相变的二维材料转移方法在审

专利信息
申请号: 202011516186.8 申请日: 2020-12-21
公开(公告)号: CN112624095A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 陈小明;马河川;李浩;邵金友;李祥明;田洪淼;韩宇飞;张洁 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C01B32/194 分类号: C01B32/194;C01B32/186
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 贺建斌
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 相变 二维 材料 转移 方法
【权利要求书】:

1.一种基于水相变的二维材料转移方法,其特征在于,包括以下步骤:

第一步:制作待转移样品,其中待转移样品由二维材料(3)、原始基底(4)和辅助基底(5)组成,将带有二维材料(3)的原始基底(4)固定在辅助基底(5)上;

第二步:在制作好的待转移样品上放置一个横截面大小相同的模具(1),并在模具(1)内滴加蒸馏水,接着将带有模具(1)和蒸馏水的待转移样品置于制冷环境中制冷,使蒸馏水完全冻成为冰柱(2);

第三步:待蒸馏水完全冻成冰柱(2)之后,通过机械力使带有二维材料(3)的冰柱(2)和模具(1)从原始基底4的上表面分离,此时,二维材料(3)则被黏附在冰柱(2)的下方;

第四步:将黏附有二维材料(3)的冰柱(2)快速放置于目标基底(6)上,当冰柱(2)融化并蒸发后,二维材料(3)则被转移至任意目标基底(6)上;

第五步:通过光学显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜或拉曼光谱仪的二维材料的表征仪器对转移后的二维材料(3)进行表征。

2.根据权利要求1所述的一种基于水相变的二维材料转移方法,其特征在于:所述的第一步中的辅助基底(5)为硬性基底。

3.根据权利要求1所述的一种基于水相变的二维材料转移方法,其特征在于:所述的第二步中的模具(1)为空心模具体,用于储存蒸馏水。

4.根据权利要求1所述的一种基于水相变的二维材料转移方法,其特征在于:所述的第二步中的制冷环境由半导体制冷板提供,其降温过程从二维材料(3)的上表面开始,减少由于蒸馏水成冰过程中体积膨胀导致的冰柱(2)和二维材料(3)界面处的结合力下降问题。

5.根据权利要求1所述的一种基于水相变的二维材料转移方法,其特征在于:所述的第三步中冰柱(2)的去除过程通过冷冻干燥完成。

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