[发明专利]一种抗振型面阵扫频测量装置和方法

权利要求书

1.一种抗振型面阵扫频测量装置，其特征在于，包括可调谐激光器(1)、准直器(2)、扩束器(3)、分束器(4)、反射元件(5)、镜头(7)、相机(8)和采集控制单元；

在原始光束的透射方向上依次设置有所述准直器(2)、所述扩束器(3)和所述分束器(4)；在原始光束经所述分束器(4)反射的方向上依次设置有所述反射元件(5)、分束器(4)、镜头(7)和相机(8)；所述可调谐激光器(1)的输出端与所述相机(8)的输入端相连；所述反射元件(5)与所述分束器(4)通过刚性结构连接；

所述可调谐激光器(1)用于通过发送触发信号控制所述相机(8)采集干涉图像，并提供原始光束；所述分束器(4)用于将原始光束反射至所述反射元件(5)；所述反射元件(5)用于按一定比例反射原始光束，形成参考光，且用于透射最后剩余原始光束至被测物体(6)；被测物体(6)用于反射最后剩余原始光束，形成信号光；镜头(7)用于使干涉图像成像于相机(8)上；采集控制单元用于根据干涉图像，分析被测物体的表面形貌；所述信号光与所述参考光干涉形成干涉图像。

2.根据权利要求1所述的抗振型面阵扫频测量装置，其特征在于，

所述反射元件(5)为薄膜反射镜，用于按一定比例反射原始光束，形成参考光；

或所述反射元件(5)为光学窗口，所述光学窗口的上表面用于按第一比例反射原始光束，形成第一参考光；所述光学窗口的下表面用于将次剩余原始光束按第二比例反射，形成第二参考光。

3.根据权利要求1所述的抗振型面阵扫频测量装置，其特征在于，所述反射元件(5)为倾斜反射元件。

4.一种抗振型面阵扫频测量装置，其特征在于，包括可调谐激光器(1)、准直器(2)、扩束器(3)、分束器(4)、显微镜(11)、套筒透镜(10)、反射元件(5)、相机(8)和采集控制单元；

在原始光束的透射方向上依次设置有所述准直器(2)、所述扩束器(3)和所述分束器(4)；在原始光束经所述分束器(4)反射的方向上依次设置有所述反射元件(5)、显微镜(11)、分束器(4)、套筒透镜(10)和相机(8)；所述可调谐激光器(1)的输出端与所述相机(8)的输入端相连；所述反射元件(5)与所述显微镜(11)通过刚性结构连接；

所述可调谐激光器(1)用于通过发送触发信号控制所述相机(8)采集干涉图像，并提供原始光束；所述分束器(4)用于将原始光束反射至所述反射元件(5)；所述反射元件(5)用于按一定比例反射原始光束，形成参考光，且用于透射最后剩余原始光束至被测物体(6)；被测物体(6)用于反射最后剩余原始光束，形成信号光；镜头(7)用于使干涉图像成像于相机(8)上；采集控制单元用于根据干涉图像，分析被测物体的表面形貌；所述信号光与所述参考光干涉形成干涉图像。

5.根据权利要求4所述的抗振型面阵扫频测量装置，其特征在于，

所述反射元件(5)为薄膜反射镜，用于按一定比例反射原始光束，形成参考光；

或所述反射元件(5)为光学窗口，所述光学窗口的上表面用于按第一比例反射原始光束，形成第一参考光；所述光学窗口的下表面用于将次剩余原始光束按第二比例反射，形成第二参考光。

6.根据权利要求4所述的抗振型面阵扫频测量装置，其特征在于，所述反射元件(5)为倾斜反射元件。