[发明专利]一种硅烷的自动充装系统

说明书

本发明公开了一种硅烷的自动充装系统，系统包括充装瓶和充装自动控制部；充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路；功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路；控制方法包括置换模式、充装模式和检漏模式；本发明采用全自动控制的气动阀，通过自动在线控制和数据采集监测，能够实现硅烷充装瓶的钝化、在线检漏、完全置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析及不合格充装瓶处理过程全自动化运行等操作，直接避免员工由于误操作造成的损失，填补了硅烷系统智能充装的空白，在保证硅烷充装效率的同时，最大限度地减少了人为干预和可能出现的操作误差、确保员工及生产安全，避免事故的发生。

技术领域

本发明涉及电子芯片及半导体工业技术领域，更具体的说是涉及一种硅烷的自动充装系统及控制方法。

背景技术

目前，硅烷广泛应用在电子芯片及半导体工业中，属于化工原材料。因此市场对硅烷产品纯度标准有极高的要求，在此基础上就对相应的充装设备及充装工艺提出了更为严苛的要求。

高纯度硅烷充装的要求是严格密封，避免和空气、水分相接触，为此，硅烷充装装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气并进行抽真空的动作，这样反复进行置换和抽真空，彻底清除系统中的空气和水分，才可以进行洁净充装及分析。

但是，传统的充装工艺及充装设备，可满足硅烷Y瓶钝化、在线检漏、置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析、及不合格Y瓶处理的手动操作，由于员工手动干预，或不能完全按照操作规程进行操作，无法精确置换时间，导致充装系统内有杂质，充装的硅烷纯度不能达到要求，造成直接经济损失；另外如何检测硅烷充装系统是否存在漏点也是一大难题，现阶段只能依靠员工手持便携式检测仪去现场检测，无法保证员工安全，甚至会危害生产安全。

因此，如何提供一种硅烷Y瓶在自动条件下进行在线检漏、置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析等操作，并确保硅烷洁净安全的自动充装系统及控制方法，是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种硅烷的自动充装系统及控制方法，旨在解决上述技术问题。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种硅烷的自动充装系统，包括：充装瓶和充装自动控制部；

所述充装瓶连接有称重器；

所述充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路；所述充装瓶连接管路与所述充装瓶的充装口连通，且其上安装有硅烷充装气动阀；所述硅烷充气管路与所述充装瓶连接管路连通，且其上依次安装有硅烷进口气动阀和充装压力表；所述功能控制管路与所述充装瓶连接管路和所述硅烷充气管路连通形成三通管路；所述功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路；所述放空管路上安装有放空气动阀；所述抽真空管路上依次安装有抽真空气动总阀和真空压力表，所述抽真空管路上具有检漏支路，所述检漏支路位于所述抽真空气动总阀和真空压力表之间，所述检漏支路上依次安装有检漏气动阀和检漏绝压表；所述在线分析管路上安装有在线分析气动阀。

通过上述技术方案，本发明采用全自动控制的气动阀，通过自动在线控制和数据采集监测，能够实现硅烷充装瓶的钝化、在线检漏、完全置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析及不合格充装瓶处理过程全自动化运行等操作，直接避免员工由于误操作造成的损失，在保证硅烷充装效率的同时，最大限度地减少了人为干预和可能出现的操作误差、确保员工及生产安全，避免事故的发生。

优选的，在上述一种硅烷的自动充装系统中，所述功能控制管路还并联有氦气保护管路；所述氦气保护管路上安装有氦气气动阀。能够实现氦气保护气的供给，实现气体置换。

优选的，在上述一种硅烷的自动充装系统中，所述放空管路上还具有氮气保护支路；所述氮气保护支路位于所述放空气动阀远离所述功能控制管路的一侧。能够实现氮气保护气的供给，实现气体置换。