[发明专利]一种高温压电式振动传感器及提高其稳定性的方法

权利要求书

1.一种高温压电式振动传感器，其特征在于，所述振动传感器为平面剪切结构，所述平面剪切结构的底座中心向两侧对称装配有绝缘片、接线片、压电陶瓷元件、接线片、压电陶瓷元件、补偿片、接线片、绝缘片和质量块，其中，补偿片和临近补偿片的压电陶瓷元件采用串联方式连接。

2.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述压电陶瓷元件通过螺杆固定在底座上，所述螺杆的弹性模量E≥85GPa，弹性模量的温度变化率＜20％。

3.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述补偿片的电容变化率与所述压电陶瓷元件的电容温度变化趋势相反。

4.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述补偿片包括BaTiO₃基陶瓷。

5.根据权利要求4所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述BaTiO₃基陶瓷包括下述组分：Ba42.0-44.0wt％，Ti 13.0-16.5wt％，Bi 4.5-6.6wt％，Rb 1.0-1.5wt％，Sn5.5-6.5wt％，其余为C、O。

6.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述补偿片的长度和宽度与所述压电陶瓷元件长度和宽度相同，厚度为压电陶瓷元件厚度的1/3-1/2。

7.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述补偿片双面喷涂与所述压电陶瓷元件相同成分的电极材料。

8.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述振动传感器进行了老化处理，所述老化处理包括温度老化和振动老化相结合的方式。

9.根据权利要求1所述的高温压电式振动传感器，其特征在于，所述温度老化为在280-300℃下，老化时间h≥12h；振动老化为沿X/Y/Z轴分别进行4-6h的振动量级为2g的振动老化。

10.一种提高高温压电式振动传感器温度稳定性的方法，其特征在于，所述方法为制备如权利要求1-9任一项所述的振动传感器，包括如下步骤：

选用平面剪切型压电式振动传感器；

在平面剪切结构中底座两侧靠近压电片外侧设置补偿片；

对压电式振动传感器进行温度老化和振动老化结合的老化处理。