[发明专利]一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法

权利要求书

1.一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液，其特征在于，由以下重量份数的原料组成：

水 50-85份；金刚石微粉0.5-15份；分散剂0.1-5份；悬浮剂0.1-5份；润滑剂1-40份；消泡剂0.001-0.1份， 金刚石微粉粒度600nm，耐磨磨粒/圆形磨粒颗粒数比值为6-12:1，其中，圆度Fc＞0.950为圆形磨粒；0.900≤Fc≤0.950为耐磨磨粒，分散剂为柠檬酸钠和脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或两种任意比例的混合物；悬浮剂为羟乙基纤维素、DISPERBYK2010型改性聚丙烯酸钠、海藻酸钠和BYK420型改性聚脲中的一种或两种以上任意比例的混合物；润滑剂为乙二醇和聚乙烯吡咯烷酮中的一种或两种任意比例的混合物，所述消泡剂为有机硅消泡剂。

2.权利要求1所述的SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液的制备方法，其特征在于，步骤如下：

S1.取10-20wt%的水与分散剂混合均匀后形成分散剂溶液；

S2. 搅拌条件下，向分散剂溶液中缓慢加入金刚石微粉，并利用超声波辅助分散，形成金刚石微粉分散液；

S3. 取剩余水，加入悬浮剂，充分搅拌溶解均匀，形成悬浮剂溶液；

S4. 将金刚石微粉分散液与悬浮剂溶液混合均匀，依次加入润滑剂、消泡剂，搅拌均匀即可。

3.根据权利要求2所述的SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液的制备方法，其特征在于，超声时的功率为400~600W，超声时间60分钟~120分钟。