[发明专利]双粒径非球形二氧化硅、制备方法及其制备的抛光浆料

权利要求书

1.一种双粒径非球形二氧化硅的制备方法，其特征在于，步骤如下：在水醇体系中，以硅酸四乙酯作为硅源，氨水作为催化剂，金属盐作为形貌、粒径控制剂，制备得到双粒径非球形二氧化硅。

2.根据权利要求1所述的双粒径非球形二氧化硅的制备方法，其特征在于：将氨水、乙醇与金属盐溶液混合，快速加入硅酸四乙酯或硅酸四乙酯的乙醇溶液，在25-60℃下反应16h得到双粒径非球形二氧化硅。

3.根据权利要求1所述的双粒径非球形二氧化硅的制备方法，其特征在于：所述金属盐为一价金属盐与二价金属盐中的任一种，金属盐的用量为20-200ppm。

4.根据权利要求3所述的双粒径非球形二氧化硅的制备方法，其特征在于：所述一价金属盐包括氯化钾、氯化钠、氯化锂或醋酸银，二价金属盐包括醋酸锌、氯化镁或氯化铜。

5.根据权利要求2所述的双粒径非球形二氧化硅的制备方法，其特征在于：所述氨水、乙醇、水与硅酸四乙酯的体积比为1.11：（1.03-3.0）：（15-30）：1.4。

6.权利要求1-5任一项所述的制备方法制备的双粒径非球形二氧化硅，其特征在于：所述双粒径非球形二氧化硅的小粒径范围为30nm-50nm，大粒径范围为60-120nm。

7.利用权利要求6所述的双粒径非球形二氧化硅制备的用于GSI阻挡层的抛光浆料，其特征在于包括以下重量份的组分：1-7.5份双粒径非球形二氧化硅、0.075-0.25份氧化剂、0.75-2.25份配合剂、0.1-0.15份膜形成剂、0.05-0.5份胺化合物、0.25-1.25份摩擦润滑剂、0.5-1.5份界面活性剂，pH调节剂。

8.根据权利要求7所述的用于GSI阻挡层的抛光浆料，其特征在于：所述氧化剂为过氧化氢及其衍生物、有机过氧化物和无机过氧化物中的一种或几种组合物；配合剂为磷酸、硝酸、硫酸、柠檬酸、酒石酸、乙酸、氨基酸、苹果酸或乙二胺四乙酸中的一种或多种；膜成形剂选自4-羟基苯并三唑丁酯、苯并三唑、1，2，3-三唑或苯并咪唑中一种或几种组合物；胺化合物选自烷基胺、烷醇胺、羟基胺或胺基酸中的一种或几种组合物；摩擦润滑剂选自甘油、乙二醇、聚乙二醇和其聚乙二醇衍生物、聚乙烯醇和含有聚乙烯醇结构单元的水溶性聚合物、含有聚环氧烷结构单元的水溶性聚合物、纤维素衍生物中的一种或几种组合物；界面活性剂选自脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯烷醇酰胺、聚丙烯酰胺、月桂酸硫酸钠、十二烷基硫酸铵盐、十二烷基硫酸钠中的一种或几种组合物；pH调节剂为氢氧化铵。

9.权利要求7或8所述的用于GSI阻挡层的抛光浆料的制备方法，其特征在于，步骤如下：

a）将双粒径非球形二氧化硅、摩擦润滑剂、界面活性剂和水混合均匀，并用氢氧化铵调节pH至8-11，得到第一混合水分散液；

b）将配合剂、氧化剂、胺化合物和膜成形剂混合均匀，并用氢氧化铵调节pH至8-11，得到第二混合水分散液；

c）将步骤a）得到的第一混合水分散液加入到步骤b）得到的第二水分散液中，得到抛光浆料。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于：所述抛光浆料pH为8-11。